水も、油も薬液も
0.1ml/minで微少流量を検出

１秒間に１回水滴が落下する程度の流量や、1ショットで噴霧する微少な離型剤・薬液の流量の測定が可能になりました。

最速50msの応答速度を実現。従来難しかった吐出・塗布確認などの、短時間の液体の流れを逃さずに測定できます。
積算流量モードで1回毎の吐出量のほか、1ロットや1日の使用量を測定することが可能です。

コリオリ式は質量流量を計測することで、液体中の気泡や目に見えないマイクロバブルの影響を受けません。
また、温度変化や粘度の影響も受けずに安定検出することが可能です。