「ナノレベル」を高精度に測る、最新機能
焦点位置を検出して瞬時に自動調整
レーザーオートフォーカス
従来ピント合わせが難し
かった干渉用レンズでも、瞬時にピント位置を確定。Z方向の調整を自動的に
行うことを実現しました。
傾き状態を検知して簡単に調整が可能
ヌリングサポート機能
従来の干渉計で手間だった傾き調整をサポートする新機能。ワークの傾きを検出し、必要な補正角度を自動的に計算します。
調整前に操作の度合いがわかるので、簡単・確実・スピーディに調整できます。
白色干渉計のニガテをなくし、高度な測定・解析を実現。
白色干渉計のニガテを補完する、トリプルスキャン方式
- 測定能力
- 「急峻な形状」や「反射率・色の違うワーク」でもノイズやデータ抜けなく、高精度な測定が可能に。
- 観察能力
- 従来の白色干渉計では、苦手だった観察。トリプルスキャン方式によりすべてにピントがあった、高精細カラー観察を実現。
