ヘッドコアシステム VL-320

型式

VL-320

種類

測定部

測定範囲

低倍：ø300mm×H200mm
高倍：ø70mm×H50mm

表示分解能

0.1µm^*1

繰り返し精度(σ)

2µm^*2

測定精度

±10µm^*3

撮像素子

1型　400万画素　モノクロCMOSイメージセンサ

投光光学系

オフセット投光型プロジェクタモジュール

受光光学系

低高倍オフセット2連光学モジュール

照明系

観察用光源

三色LED(赤、緑、青)

測定用光源

青色LED

ズーム

デジタル0.1～8倍

画像サイズ

動画 2048×2048pix、 静止画 2048×2048pix

ステージ

回転機構

360°(無限回転)

チルト機構

45 °まで

耐荷重

10kg

制御用PC

当社指定専用PC(OSはWindows10)^*4

電源

電源電圧

AC100～240V±10% 50/60Hz

消費電力

200VA

耐環境性

使用温度範囲

+15 ～ +30 ℃

使用湿度範囲

35 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

18.5 kg