測定部 VK-X130

型式

VK-X130

総合倍率

～ 19200倍^*1

視野 (最小視野範囲)

16 µm ～ 5,400 µm

フレームレート

レーザ測定スピード

4 ～ 120 Hz、7,900 Hz^*2

測定原理

光学系

ピンホール共焦点光学系

受光素子

フォトマルチプライヤ -16bitセンシング-

スキャン方式 (通常測定時及び画像連結時)

自動上下限設定機能 高速光量最適化機能 (AAGⅡ) 反射光量不足補完機能 (ダブルスキャン)

高さ測定

表示分解能

5 nm

リニアスケール

ダイナミックレンジ (ワークからの受光量の適応幅)

16 bit

繰り返し精度σ

20 nm^*3

Z軸計測用メモリ

140万ステップ

正確さ

0.2 + L/100 µm 以下 (L = 測定長 µm)

Zステージ構成

構造

測定ヘッド分離構造

最大試料高さ

28 mm、128 mm (オプション)

幅測定

表示分解能

10 nm

繰り返し精度3σ

50 nm

正確さ

測定値の±2%以内

XYステージ構成

手動 可動範囲

70 mm×70 mm

電動 可動範囲

50 mm×50 mm 100 mm×100 mm^*4

観察

観察画像

超高精細カラーCCD画像
16bitレーザカラー共焦点画像
共焦点+NDフィルタ光学系
C-レーザ微分干渉画像

最大撮影解像度

3072×2304

測定用レーザ光源

波長

赤色半導体レーザ 658 nm

最大出力

0.95 mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

質量

約 25 kg (分離時ヘッド単体：約 8.5 kg)