ワンショット3D形状測定機 ヘッド (ハイエンドモデル) VR-6200

型式

VR-6200

種類

ヘッド

対応OS

Windows10 Professional / Windows11 Professional

対応コントローラ

VR-6000

観察視野

低倍(広視野)

15型モニタ上倍率 12×

横

24.0 mm

縦

18.0 mm

15型モニタ上倍率 25×

横

12.0 mm

縦

9.0 mm

15型モニタ上倍率 38×

横

8.0 mm

縦

6.0 mm

15型モニタ上倍率 50×

横

縦

4.5 mm

高倍(高解像度)

15型モニタ上倍率 40×

横

7.6 mm

縦

5.7 mm

15型モニタ上倍率 80×

横

3.8 mm

縦

2.9 mm

15型モニタ上倍率 120×

横

2.5 mm

縦

1.9 mm

15型モニタ上倍率 160×

横

縦

1.4 mm

ズーム

1～4倍

高さ測定

表示分解能

0.1 μm

高さ測定範囲

Z連結なし

低倍（広視野）: 10 mm
高倍（高解像度）: 1 mm

Z連結あり

低倍（広視野）: 50 mm
高倍（高解像度）: 30 mm

繰り返し精度σ

Z連結なし

0.4 μm ^*1

Z連結あり

1.0 μm ^*1

正確さ

Z連結なし

±2.5 μm ^*1

Z連結あり

±4.0 μm ^*1

幅測定

繰り返し精度σ

低倍（広視野）: 1 μm
高倍（高解像度）: 0.5 μm
^*1

正確さ

低倍（広視野）: ±5 μm
高倍（高解像度）: ±2 μm
^*1

連結機能

全自動測定（XY自動制御+Z自動制御、θ自動制御）、自動マップ画像作成、自動領域設定 ^*2

連結機能

電動回転ユニット

対応 ^*2

XY測定可能範囲

300×150 mm ^*2

ステージ

XYストローク

278×134 mm（電動）

Zストローク

69 mm（電動）

耐荷重

4.5 kg

作動距離

75 mm

撮像素子

1型 400万画素 モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ×2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明（赤、青、緑）

測定用光源

白色LED

データ処理部

弊社指定専用PC

電源

電源電圧

AC100～240 V ±10％ 50/60 Hz

消費電力

200 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

＋15～30℃

使用周囲湿度

20～80%RH（ただし結露なきこと）

質量

約28 kg ^*3