光学ユニット (真空耐熱20 mmタイプ) CL-V020N
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仕様
型式 | CL-V020N | |||
種類 | 光学ユニット | |||
ヘッド | CL-V020 *1 | |||
基準距離 | 20 mm | |||
標準測定範囲 | 測定範囲 | ± 1.3 mm | ||
直線性 | ± 0.45 μm *2 | |||
高精度測定範囲 | 測定範囲 | ± 0.5 mm | ||
直線性 | ± 0.38 μm *2 | |||
分解能 | 0.25 μm *3 | |||
スポット径 | ø 20 μm | |||
レーザークラス | 光学ユニット | Class 1 | ||
サンプリング周期 | 100/200/500/1000 µs(4 段階可変) | |||
耐環境性 | 保護構造 | ヘッド | IP40 真空用脱気構造 *4 | |
使用周囲照度 | 物体面照度 30000 lx(白熱灯) | |||
使用周囲温度 | ヘッド | − 20 〜200℃ | ||
光学ユニット | 0 ～ 50℃ | |||
使用周囲湿度 | 85％ RH 以下（結露なきこと） | |||
耐振動 | ヘッド | 10 ～ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間 | ||
光学ユニット | 10 ～ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間 | |||
耐衝撃 | 15G 6 ms | |||
真空 | 超高真空対応 *5 | |||
防爆 | 性能 | ヘッド | なし | |
光学ユニット | ||||
Zone/Division | ヘッド | |||
光学ユニット | ||||
周囲温度 | ヘッド | |||
光学ユニット | ||||
認証番号 | ||||
温度特性 | ヘッド | 0.013% of F.S. /℃ *6 | ||
光学ユニット | 0.015% of F.S. /℃ | |||
材質 | ヘッド | SUS304 | ||
光学ユニット | ポリカーボネート | |||
質量 | ヘッド | 約100 ｇ | ||
光学ユニット | 約1600 g | |||
*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 | ||||