マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制該当品)

型式			CL-P007G	CL-P015G	CL-P030G	CL-P070G	CL-P150G
画像
種類			光学ユニット
ヘッド			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
基準距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準測定範囲	測定範囲		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	直線性		± 0.83 µm ^*2	± 0.36 µm ^*2	± 0.81 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	± 5.5 μm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	± 15 mm
	直線性		± 0.43 µm ^*2	± 0.28 µm ^*2	± 0.59 µm ^*2	± 1.9 µm ^*2	± 4.5 μm ^*2
分解能			0.015 µm	0.003 µm	0.015 µm	0.025 µm	0.1 μm
スポット径			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	ø 75 µm
レーザークラス	光学ユニット		Class 1
サンプリング周期			100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド	IP67(IEC60529)
	使用周囲照度		物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度		85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド	10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット	10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃		15G 6 ms
温度特性	ヘッド		0.005% of F.S. /℃
	光学ユニット		0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド		SUS	前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット		ポリカーボネート
質量	ヘッド		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 g
	光学ユニット		約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。