マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ

ヘッド部

型式

SI-F01*1*2

SI-F10*1*2

SI-F80*1*2

画像

種類

マイクロヘッドタイプ センサヘッド

長距離タイプ センサヘッド

厚み測定タイプ センサヘッド

分光ユニット

SI-F01U

SI-F10U

SI-F80U

測定範囲

0.05 ～ 1.1mm*3

11.3 ～ 12.35mm*3

0.05 ～ 1.1mm*7
(検出可能距離 80 ～ 81.1mm)

測定用光源

赤外SLD 中心波長820nm 最大0.6mW クラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø20µm*4

ø40µm*4

ø20µm*4

直線性

±0.2µm*5

±0.3µm*5

±0.2µm*8

分解能

0.001µm*6

0.01µm*6

0.001µm*9

サンプリング周期

200µs

ガイド用光源

赤色LD 655nm 最大0.1mW クラス1 (JIS C6802)

LED表示

測定中心付近：緑点灯 測定範囲内：橙点灯 測定範囲外：橙点滅

耐環境性

保護構造

IP67

IP64

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ～ +85 ℃

0 ～ +40 ℃

0 ～ +50 ℃

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

SUS

質量

約 24 g (コード含む)

約 38 g (コード含む)

約 39 g (コード含む)

*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。
*2 センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*3 センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、長距離タイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.2mmの個体差があります。
*4 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*5 測定対象はガラス表面で、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*6 測定対象はガラス表面で、測定範囲中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
*7 厚み測定タイプはガラスとガラスの隙間厚みの測定範囲を表しています。検出可能距離の範囲内に測定対象面が入るようにしてください。
*8 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*9 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値