分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80R シリーズ
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表示パネル SI-FD500


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SI-FD500 - 表示パネル

仕様

型式

SI-FD500

種類

メインコントローラ 分離型*1

分光ユニット接続台数

2台

表示

最小表示単位

0.001µm

表示範囲

±999.999µm ~ ±9999.99mm (7段階選択可能)

表示周期

10回/秒

端子台

レーザリモートインターロック入力

無電圧入力*2

タイミング1入力

リセット1入力

オートゼロ1入力

レーザオフ1/2入力

アナログ電圧出力

±10V×2出力 出力インピーダンス 100Ω*2

アナログ電流出力

4 ~ 20mA×2出力 最大負荷抵抗 350Ω*2

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*2

総合判定出力

NPNオープンコレクタ出力*2

拡張コネクタ

タイミング2入力

無電圧入力*2

リセット2入力

オートゼロ2入力

プログラム切換入力

無電圧入力×3入力*2

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*2

判定・バイナリ出力

バイナリ出力

測定値データ出力 (21bit)
OUT選択可 NPNオープンコレクタ出力*2

ストローブ出力

NPNオープンコレクタ出力*2

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

無電圧入力*2

RS-232Cインターフェース

測定データ出力および制御入出力
(ボーレート115200bit/sまで選択可)

USBインターフェース

USB2.0 HI-SPEED対応
(USB1.1 Full-SPEED互換)

Ethernetインターフェース

100Base-TX/10Base-T

主な機能

12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、
測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、
光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、干渉計モード、マスク機能、
設定支援ソフト接続機能、ほか

定格

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) 10 % 以下

消費電流

ヘッド 1 台接続時:0.6 A 以下、ヘッド 6 台接続時:1.5 A 以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃*3

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

質量

約 600 g

*1 SI-F1000単独で使用できます。測定値表示および設定変更は、表示パネル (SI-FD500)または設定支援ソフト (SI-H1)より可能です。
*2 ・NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下
・無電圧入力定格 ON電圧1V以下、OFF電流0.6mA以下
・本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。 配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないように
してください。
*3 増設コントローラ数が 2 台以上の場合、使用周囲温度は 0 ~ +40 ℃ です。