分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ
センサヘッド
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型式 |
SI-F80R*1 |
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画像 |
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種類 |
ウェハ厚み測定タイプ センサヘッド |
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分光ユニット |
SI-F80RU |
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測定範囲 |
10 ～ 310µm (n=3.5 のとき)*2 |
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検出可能距離 |
80 ～ 81.1mm |
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測定用光源 |
赤外SLD 出力0.6mW レーザクラス1 (JIS C6802) |
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スポット径 |
ø25µm*3 |
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直線性 |
±0.1µm (n=3.5 のとき)*4 |
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分解能 |
0.001µm*5 |
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サンプリング周期 |
200µs |
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LED表示 |
測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅 |
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耐環境性 |
保護構造 |
IP64 |
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使用周囲照度 |
白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下 |
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使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃ |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間 |
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材質 |
SUS |
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質量 |
約 70 g (コード含む) |
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*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。 |
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