今まで見れなかった“厚みムラ”を見える化
β線やX線のような透過型の測定器はスポット径が数mmと大きく、細かな厚みムラが見れませんでした。
形状測定能力の高いSI-Tシリーズは、「ø30μmの小スポットと1msの高速サンプリング」により、細かな厚みプロファイルを提供します。
多層フィルム各層の厚み測定を実現
センサヘッドから、それぞれの反射面までの距離が測定できるため、内部演算を行なうことで各層の厚みが測定できます。
材質による吸収率や閾値設定のような煩わしい設定も不要です。
粘着層も安定測定
光量積算機能というキーエンス独自技術により、粘着層のような荒れている表面でも安定測定が可能です。
詳しくは、カタログ(PDF)をダウンロードしてご覧ください。シーンに合わせた2種のヘッドラインナップ
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レーザ変位計
- マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000 シリーズ
- 超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000 シリーズ
- 高速・高精度CCDレーザ変位計 LK-G3000 シリーズ
- マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-F シリーズ
- 分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80R シリーズ