白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ
センサヘッド
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型式 |
WI-001*1*2*3 |
WI-004*1*2*3 |
WI-010*1*2*3 |
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画像 |
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基準距離 |
18mm |
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測定範囲 |
Z |
1.4mm(標準モード)、0.7mm(高速モード) |
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XY |
1×1mm |
4×4mm |
10×10mm |
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最小検出エリア |
4×4µm |
15×15µm |
40×40µm |
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繰り返し精度(段差) |
0.1µm*4 |
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直線性(段差) |
±2.8µm*5 |
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測定用光源 |
種類 |
赤外SLD |
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中心波長 |
830nm |
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レーザクラス(IEC60825-1) |
クラス 3R |
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出力 |
3.6mW |
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ガイド用光源 |
種類 |
赤色半導体レーザ |
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波長 |
660nm |
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レーザクラス(IEC60825-1) |
クラス1 |
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出力 |
0.15mW |
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サンプリング周期 |
内部トリガ |
133ms(高速モード)、266ms(標準モード) |
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外部トリガ |
最速266ms(高速モード)、最速532ms(標準モード)*6 |
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耐環境性 |
使用周囲照度 |
白熱ランプ/蛍光灯：5,000 lux 以下 |
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使用周囲温度 |
0 ～ +35 ℃ |
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使用周囲湿度 |
20 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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質量 |
約 3,000 g |
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*1 高さ(ヘッド基準面から測定ワークまでの距離)の分解能は1 µm(＊2)です。 |
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