白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ
専用スタンド
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型式 |
WI-S1 |
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画像 |
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XYステージ移動量 |
X軸：75mm、Y軸：50mm |
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XYステージ傾き角度 |
±2度 |
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Z軸ステージ移動量 |
粗動：64mm、微動：2.0mm |
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外形寸法(可動部除く) |
幅231×高さ408×奥行き360mm |
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質量 |
約 10 kg |
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