インライン投影画像測定器
TM-X5000 シリーズ

ヘッド

型式				TM-X5006	TM-X5040	TM-X5065	TM-X5120
画像
投受光間距離				60 mm	180 mm	270 mm	436.7 mm
測定範囲	視野	高精度測定領域		φ 4 mm	φ 26 mm	φ 40 mm	φ 60 mm
		測定領域		φ 6 mm	φ 40 mm	φ 65 mm	φ 124 mm
	被写界深度	高精度測定領域		2 mm	10 mm	20 mm
		測定領域		4 mm	20 mm	30 mm	40 mm
露光時間				25 / 50 / 100 μs（ 3 段階可変）
撮像時間（トリガー間隔）				約24 ms（測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれFull のとき）約3 ms（測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれ4/16 のとき）
光源				InGaNグリーンLED
測定位置精度	高精度測定領域			± 0.2 μm ^*1	± 1 μm ^*1	± 1.2 μm ^*1	± 2.5 µm ^*1
	測定領域			± 0.3 μm ^*1	± 2 μm ^*1	± 2.2 μm ^*1	± 3.5 µm ^*1
繰り返し精度				± 0.03 μm ^*2	± 0.08 μm ^*2	± 0.1 μm ^*2	± 0.2 µm ^*2
耐環境性	保護構造			IP64 ^*3
	使用周囲温度			０～＋ 45℃
	使用周囲湿度			85％RH 以下（結露しないこと）
材質				アルミ			アルミ／ PBT
質量				投光部: 約 160ｇ受光部: 約 480ｇベース部: 約 210ｇ	投光部: 約 620ｇ受光部: 約 890ｇベース部: 約 670ｇ	投光部: 約 1300 ｇ受光部: 約 1900 ｇベース部: 約 1500 ｇ	投光部: 約 5900ｇ受光部: 約 7900ｇベース部: 約 4300ｇ
^1 当社標準測定対象物（校正ガラススケール）の幅を測定した場合の誤差。 ^2 測定領域中心で当社標準測定対象物（校正ガラススケール）の幅を測定値平均回数16回とした場合の±2 σの値。 ^*3 コネクタおよびケーブルボックス部は除く。