XY測定システム VH-M100

型式

VH-M100

積載荷重

3kg

ステージ移動量

XY各方向 100 mm

表示分解能

0.1µm

移動精度

4+0.02L (µm)^*1

定格

電源電圧

AC 100 ～ 240 V、50/60 Hz

消費電力

50 VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ～ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

18 kg