フリーアングル観察システム(XY軸電動ステージ) VHX-S90B
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規格認証への適合状況は、当社からの出荷日時点の情報となります。
仕様
型式 | VHX-S90B | |||
種類 | XYステージ | |||
モータ | 2相ステッピングモータ | |||
ステージ移動量 | ±20mm | |||
Z移動量 | ― | |||
分解能 | 1µm (typ) | |||
積載荷重 | 1kg | |||
XYθステージサイズ | 上面171mm×168mm (中央円板ø100) | |||
XY自動ステージ移動速度 | 10mm/sec (max) | |||
θ回転角 | ±90度 | |||
透過照明観察対応倍率 | ×20倍以上 | |||
定格 | 電源電圧 | AC 100 ~ 240 V、50/60 Hz | ||
消費電力 | 50 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ~ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ~ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 14 kg (VHX-S90B) 3 kg (XYθステージのみ) |