リアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-7800SR
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推奨代替機種
仕様
型式 | VE-7800SR | |||
各種機能 | 観察時自動調整機能 | 光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト/明るさ・フルオート | ||
元素分析機能 | 計測機能*1・エネルギー分散型元素分析機能*2 | |||
基本仕様 | 倍率 | 15 ～100000 倍*3 | ||
観察範囲 | 8.3(H)×6.2(V)mm ～1.2(H)×9.3(V)µm | |||
分解能 | 30nm | |||
観察像 | 2次電子像・反射電子像*4 | |||
観察モード | 高真空圧・低真空圧(3 ～260Pa)*5 | |||
表示分解能 | 観察時 | 640(H)×480(V) | ||
撮影時 | 1280(H)×960(V) | |||
フレームレート | 約4.5F/S (観察時) | |||
画像保存形式 | 2D像 | BMP ・TIFF ・JPG | ||
3D像 | ||||
加速電圧 | 0.5 ～20kV | |||
電子銃 | タングステンヘアピン・プリセンタードカートリッジ式 | |||
最大試料サイズ | ø64mm | |||
試料ステージ | 5 軸(X ・Y ・Z ・回転・傾斜)ユーセントリック式*6 | |||
電源 | 電源電圧 | AC90 ～110V 50/60Hz | ||
消費電力 | 1500VA 以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | 15 ～30 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～85%RH (結露しないこと) | |||
外形寸法 | 本体 | 幅395 ×高さ980 ×奥行650mm(突起部含まず) | ||
外部ポンプ | 幅500 ×高さ365 ×奥行170mm | |||
質量 | 本体 | 約120kg | ||
外部ポンプ | 約27kg | |||
*1 計測機能はオプション設定です。 | ||||
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