3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-9800SR (VE-9800)

型式

VE-9800SR

各種機能

操作モード

オート (フローチャートによるガイダンス)・マニュアル

観察条件設定補助機能

観察条件の異なる画像を4枚連続自動取得 (取得条件変更可)

ナビゲーション機能

視野40mmの試料全景図 (カラー)による

マルチウインドウ機能

観察位置表示・広域画像表示・比較画像表示

観察時自動調整機能

光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト/明るさ・フルオート

描画平均回数設定

1回 ～ 128回

高速描画機能

自動

リアルタイム画像補正機能

シャープネス・ハイライト除去・ガンマ補正

帯電除去機能

自動

分割表示機能

2分割 (水平・垂直)・4分割

コメント機能

文字・記号の観察像内追記

メモ機能

全角256文字まで画像ファイル内に保存

保存画像改善機能

明るさ・コントラスト・ノイズ除去

自動レポート作成機能

表計算ソフトへの観察像・観察条件自動出力

観察条件登録機能

自動

計測機能

2点間・半径・直径・円中心間距離・角度・垂線距離・平行線間距離・カウント・XY同時計測・面積・自動計測^*1

3D観察機能

回転・傾斜・ズーム・ワイドビュー (2D広視野表示)・照明シミュレーション

3D構築補助機能

ナビゲーションによる観察視野指示

3D計測機能

試料任意区間プロファイル計測・高さカラー表示・2画面比較^*2

分析機能

定性・定量・マッピング^*3

メンテナンス時自動調整機能

エミッション電流設定・光軸補正メモリ・非点収差補正メモリ

操作ガイド表示

試料交換・観察テクニック・加速電圧調整・非点収差調整・スポット径調整・メンテナンス

ソフト部 (詳細モジュール)

スキャン回転機能

ステージを回さずに画像を回転する機能

ガイダンス画面表示機能

各種操作の補足説明画面を表示する機能

レポート機能

計測結果をMicrosoft Excelファイル形式のレポートとして出力する機能^*4

オート機能

フォーカス、明るさ・コントラスト、非点、光軸の自動調整機能

除電機能

試料の帯電を取り除く機能

観察倍率の高倍率設定機能

観察倍率の上限設定を10万倍にする機能

加速電圧の高加速電圧設定機能

加速電圧の上限設定を20kVにする機能

基本仕様

倍率

15 ～ 100000倍^*5

観察範囲

9 (H)×7 (V)mm ～ 1.3 (H)×1 (V)µm

分解能

8nm

観察像

2次電子像/反射電子像

観察モード

高真空

表示分解能

観察時

640 (H)×480 (V)

撮影時

1280 (H)×960 (V)

フレームレート

4.5F/S (観察時)

画像保存形式

2D像

TIFF・JPG

3D像

TIFF・JPG・EXE (再生機能付き)・AVI (動画)

加速電圧

0.5 ～ 20kV

電子銃

タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式

最大試料サイズ

ø64mm

試料ステージ

5軸 (X・Y・Z・回転・傾斜)ユーセントリック式 (X・Y・傾斜軸電動)
X：32mm・Y：32mm・Z：8 ～ 30mm・回転：360°・傾斜：－10 ～ +90°

試料室内確認機能

カラーカメラ

制御部

専用ワークステーション OS : Windows7 Professional SP1^*6

電源

電源電圧

AC100V±10% 50/60Hz

消費電力

1500VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+15 ～ +30℃

使用周囲湿度

70%以下 (結露なきこと)

外形寸法

本体

幅395×高さ975×奥行670mm

外部ポンプ

幅500×高さ365×奥行170mm

質量

本体

約125kg

外部ポンプ

約27kg