コリオリ式デジタル流量センサ
FD-S シリーズ

センサヘッド

型式

FD-SF1*1*2

FD-SF8*1*2

画像

種類

超微少流量タイプ

微少流量タイプ

定格流量範囲

0 ～ 1,000 mL/min*3

0 ～ 8 L/min*3

使用可能流体

液体 (PFA を腐食しない液体)

密度指定範囲

0.300 ～ 2.000 g/cm3

低密度ゼロカット

初期値 0.50 g/cm3 (0.01 ～ 2.00 g/cm3 の間で変更可能)*4

ゼロカット流量 初期値

50 mL/min*5

0.4 L/min*5

ゼロカット流量

0 ～ 2,000 mL/min*5

0 ～ 16 L/min*5

プロセス接続口径 (PFA チューブエンド)

4 × 3 mm

3/8" × 1/4" (9.53 × 6.35 mm)

チューブ内径

ø3.0 mm ループ

ø5.0 mm 分岐

使用流体温度

10 ～ 60 ℃ (凍結なきこと)

圧力損失

水：粘度 1 cSt、FS のとき

0.035 MPa 以下

0.04 MPa 以下

表示方式

(なし) 設定・表示パネル：FD-SA**A に接続して使用

動作表示灯

アラーム表示灯：赤・緑 LED (赤点灯：アラーム、緑点灯：電源)
ステータス表示灯：赤・緑 LED (赤点灯：振動警告、緑点灯：満水 (正常)、緑点滅：気泡混入警告、緑消灯：乾水状態)

表示分解能

スタンダードモード

1 mL/min (rESo モード時)

0.01 L/min (rESo モード時)

フォーカスモード

0.1 mL/min*6(rESo モード時)

1 mL/min*6(rESo モード時)

精度

直線性

50 ～ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
20 ～ 50 % of F.S. 流量 ±2 % of Rdg (指示値)
0 ～ 20 % of F.S. 流量 ±0.4 % of F.S.
再現性 (フォーカスモードにて) 0 ～ 50 mL/min：±1 mL/min*7

25 ～ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
0 ～ 25 % of F.S. 流量 ±0.25 % of F.S.*7

ゼロ点安定性

±1 % of F.S.*7*8

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 (チャタリング防止機能)

50 ms/100 ms/500 ms/1 s/2.5 s/5 s/10 s/30 s/60 s 可変

積算表示単位

スタンダードモード

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能

0.001/0.01/0.1/1/10/100 (L) から選択可能

フォーカスモード

0.01/0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能*6

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能*6

積算データ記憶周期

10 秒ごとにメモリに書き込み

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間：10 年以上、データ書き換え可能回数：100 万回以上)

消費電力 (消費電流)

FD-SA**A より供給

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

FD-SA**A より出力
(NPN/PNP オープンコレクタ最大 100 mA/ch (NPN：40 V 以下、PNP：30 V 以下)、残留電圧 1 V 以下)

積算リセット/バンク切換

FD-SA**A より入力 (無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上 )

アナログ出力

FD-SA**A より出力 (4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能 )

電源電圧

FD-SA**A より供給

耐環境性

保護構造

IP65

耐圧力

1.5 MPa 以下 (25 ℃)*9

0.9 MPa 以下 (25 ℃)*9

使用圧力範囲

1 MPa 以下 (25 ℃)*9

0.6 MPa 以下 (25 ℃)*9

使用周囲温度

0 ～ +60 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 0.075 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

接液部

スーパーPFA

スーパー PFA /ニュー PFA

接液部以外

ケース樹脂部：PEI、ケーブル：PVC

付属品

取扱説明書

質量

約 700 g

約 750 g

*1 並べて使用する場合、別途規定する間隔をあけて設置してください。
*2 FD-SF1/FD-SF8にFD-SA** は使用できません。FD-SA**A を使用してください。
*3 定格流量範囲の 2 倍まで表示可能。フォーカスモード使用時は定格流量範囲は変更ありませんが流量表示範囲は FD-SF1：0 ～ 400 mL/min 、FD-SF8：0 ～ 4,000 mL/min
*4 低密度カット以下のとき、流量は 0 L/min 表示になります。低密度カットは積算流量に反映されます。
*5 ゼロカット流量以下の流量は 0 L/min 表示になります。ゼロカットは積算流量に反映されます。フォーカスモード使用時はゼロカット流量初期値は FD-SF1：10.0 mL/min、FD-SF8：100 mL/min
*6 フォーカスモード使用時は瞬時流量表示範囲は FD-SF1：0 ～ 400 mL/min、FD-SF8：0 ～ 4,000 mL/min
*7 F.S. (フルスケール) は、定格流量を示し、Rdg は瞬時流量表示を示します。精度については、出荷時調整設備において、25 ℃ で 30 秒間の積算量の誤差により規定しています。
フォーカスモード使用時の精度は通常時と同じです。フォーカスモード使用時も F.S. は FD-SF1：1 L/min、FD-SF8：8 L/min で算出
*8 定期的なゼロ点調整によりキャンセルできます。
*9 25 ℃ 以上はディレーティング直線に従ってください。ウォーターハンマー等の圧力変動も使用圧力範囲内としてください。