アンプ分離型気体用流量センサ
FD-V40 シリーズ
センサヘッド
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型式 |
FD-A1 |
FD-A10 |
FD-A50 |
FD-A100 |
FD-A250 |
FD-A600 |
FD-A10AR |
FD-A50AR |
FD-A100AR |
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画像 |
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データシート（PDF） |
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種類 |
空気・窒素 (N2) 用 |
アルゴン (Ar) 用 |
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検出範囲 |
30 ～ 1,000 mL/min (std)*1 |
0.3 ～ 10 L/min (std)*1 |
1.5 ～ 50 L/min (std)*1 |
3 ～ 100 L/min (std)*1 |
7 ～ 250 L/min (std)*1 |
18 ～ 600 L/min (std)*1 |
0.3 ～ 10 L/min (std)*1 |
1.5 ～ 50 L/min (std)*1 |
3 ～ 100 L/min (std)*1 |
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ゼロカット流量 |
30 mL/min (std) |
0.3 L/min (std) |
1.5 L/min (std) |
3 L/min (std) |
7 L/min (std) |
18 L/min (std) |
0.3 L/min (std) |
1.5 L/min (std) |
3 L/min (std) |
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適応流体 |
空気・窒素 (N2) |
アルゴン (Ar) |
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使用可能流体 |
ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体 (圧縮空気の場合 ISO 等級 1.1.2 ～ 1.6.2)*2 |
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使用流体温度 |
0 ～ +50 ℃ (結露・氷結しないこと) |
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接続口径 |
Rc (PT) 1/4 |
Rc (PT) 1/2 |
Rc (PT) 1/4 |
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表示方式 |
フローインジケータ：緑 LED (×4)、出力表示：赤 LED |
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耐環境性 |
耐圧力 |
1.0 MPa |
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使用圧力範囲 |
-0.07 ～ 0.7 MPa |
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使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと) |
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使用周囲湿度 |
10 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 0.75 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
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耐衝撃 |
300 m/s2、X,Y,Z 各軸 各方向 10 回 計 60 回 |
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材質 |
流路部：アルミ、SUS303、SUS304、ポリエーテルイミド、フッ素ゴム、シリコン |
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付属品 |
ヘッドコネクタ 1 個、単位切替シール 1 枚 |
ヘッドコネクタ 1 個 |
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質量 |
約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
約 190 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
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価格(¥) |
43,900 |
32,900 |
38,400 |
43,900 |
54,900 |
65,900 |
32,900 |
38,400 |
43,900 |
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*1 20 ℃、1 気圧 (101.3 kPa) 時の体積流量での換算値 |
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