レーザー測定器とは

レーザー測定器とは

部品にレーザー光を照射して、その反射光により距離を検出するのがレーザー測定器です。
測定する距離に応じて、その呼称が変わることもあります。

・変位センサ：近距離用（数十mm～数百mmをミクロン単位で測定する）
・距離センサ：長距離用（数十mm～数mをミリ単位で測定する）

その測定方法は、反射光をもとに三角測量の原理で測定する「三角測距方式」と、投影したレーザーとその反射光の位相差で測定する「タイム オブ フライト方式」があります。

非接触式の三次元測定機では「位相差距離方式」が多く用いられています。

三角測距方式

三角測量を応用した方式です。 発光素子（半導体レーザーを使用）と受光素子の組み合わせで構成されています。 半導体レーザーの光は、投光レンズで集光され測定対象に照射されます。 測定対象に照射されたレーザーの拡散反射は、その一部が受光レンズを通過して受光素子上にスポットを形成します。 測定対象が移動すると、スポットも移動するため、そのスポット位置を検出することにより測定対象までの変位量を測定することができます。

タイム オブ フライト方式

照射した光が測定対象で反射して受光するまでの時間を計測して、距離を測定する方式です。
測定方法の違いにより「位相差距離方式」と「パルス伝播方式」に分けられます。