ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3100

型式

VR-3100

種類

ヘッド

対応コントローラ

VR-3000

観察測定範囲

広視野モード

15型モニタ上倍率 12×

横 (H)

24mm

縦 (V)

18mm

15型モニタ上倍率 25×

横 (H)

12mm

縦 (V)

9mm

15型モニタ上倍率 38×

横 (H)

8mm

縦 (V)

6mm

15型モニタ上倍率 50×

横 (H)

縦 (V)

4.5mm

高倍率モード

15型モニタ上倍率 40×

横 (H)

7.6mm

縦 (V)

5.7mm

15型モニタ上倍率 80×

横 (H)

3.8mm

縦 (V)

2.9mm

15型モニタ上倍率 120×

横 (H)

2.5mm

縦 (V)

1.9mm

15型モニタ上倍率 160×

横 (H)

縦 (V)

1.4mm

ズーム

1 ～ 4倍

測定可能高さ

広視野モード：10 mm (±5 mm)、高倍率モード：1mm (±0.5 mm)^*1

表示分解能

0.1 µm^*2

繰り返し精度 (σ)

高さ測定

0.5µm^*3

幅測定

広視野モード：1µm 高倍率モード：0.5µm^*3

測定精度

高さ測定

±3µm^*3

幅測定

広視野モード：5µm 高倍率モード：2µm^*3

連結機能

手動(XY、Z)^*4

ステージ

XYストローク

70mm(200mm^*5)(手動)^*6

Z ストローク

90 mm (電動)

回転機構

±90° (θステージ)

チルト機構

±30°以上

作動距離

75 mm

撮像素子

1型400万画素モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ x 2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明 (赤,緑,青)

測定用光源

白色LED

画像サイズ

1024×768pix, 2048×1536pix

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows7)^*7

定格

電源電圧

AC 100 ～ 240 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

150 VA

耐環境性

使用周囲温度

+15 ～ +30 ℃

使用周囲湿度

35 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

22.5 kg