ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-5200

型式

VR-5200

種類

ヘッド

照明系

観察用光源

LEDリング照明 (赤、青、緑)

測定用光源

白色LED

対応コントローラ

VR-5000

観察視野

低倍(広視野)

15型モニタ上倍率 12×

横

24.0 mm

縦

18.0 mm

15型モニタ上倍率 25×

横

12.0 mm

縦

9.0 mm

15型モニタ上倍率 38×

横

8.0 mm

縦

6.0 mm

15型モニタ上倍率 50×

横

縦

4.5 mm

高倍(高解像度)

15型モニタ上倍率 40×

横

7.6 mm

縦

5.7 mm

15型モニタ上倍率 80×

横

3.8 mm

縦

2.9 mm

15型モニタ上倍率 120×

横

2.5 mm

縦

1.9 mm

15型モニタ上倍率 160×

横

縦

1.4 mm

ズーム

1～4倍

高さ測定

表示分解能

0.1 µm

高さ測定範囲

Z連結なし

低倍 (広視野) ： 10 mm
高倍 (高解像度) ： 1 mm

Z連結あり

低倍 (広視野) ： 50 mm
高倍 (高解像度) ： 30 mm

繰り返し精度σ

Z連結なし

0.4 µm^*1

Z連結あり

1.0 µm^*1

正確さ

Z連結なし

±2.5 µm^*1

Z連結あり

±4.0 µm^*1

幅測定

繰り返し精度σ

低倍 (広視野) ： 1 µm
高倍 (高解像度) ： 0.5 µm
^*1

正確さ

低倍 (広視野) ： ±5 µm
高倍 (高解像度) ： ±2 µm
^*1

連結機能

全自動測定 (XY自動制御 + Z自動制御) 、自動マップ画像作成、自動領域設定^*2

XY測定可能範囲

206 × 104 mm^*2

ステージ

XYストローク

184 × 88 mm (電動)

Zストローク

73 mm (電動)

耐荷重

4.5 kg

作動距離

75 mm

撮像素子

1型 400万画素 モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ×2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows 10 Pro)

電源

電源電圧

AC 100～240 V 50/60 Hz

消費電力

200 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+15 ～ 30 ℃

使用周囲湿度

20 ～ 80 % RH (ただし結露なきこと)

質量

約28 kg^*3