ワンショット3D形状測定機 ヘッド (ハイエンドモデル) VR-6200
![VR-6200 - ワンショット3D形状測定機 ヘッド (ハイエンドモデル)](/img/products/model/AS_119825_L.jpg)
仕様
型式 | VR-6200 | |||
種類 | ヘッド | |||
対応コントローラ | VR-6000 | |||
観察視野 | 低倍(広視野) | 15型モニタ上倍率 12× | 横 | 24.0 mm |
縦 | 18.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 25× | 横 | 12.0 mm | ||
縦 | 9.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 38× | 横 | 8.0 mm | ||
縦 | 6.0 mm | |||
15型モニタ上倍率 50× | 横 | |||
縦 | 4.5 mm | |||
高倍(高解像度) | 15型モニタ上倍率 40× | 横 | 7.6 mm | |
縦 | 5.7 mm | |||
15型モニタ上倍率 80× | 横 | 3.8 mm | ||
縦 | 2.9 mm | |||
15型モニタ上倍率 120× | 横 | 2.5 mm | ||
縦 | 1.9 mm | |||
15型モニタ上倍率 160× | 横 | |||
縦 | 1.4 mm | |||
ズーム | 1~4倍 | |||
高さ測定 | 表示分解能 | 0.1 μm | ||
高さ測定範囲 | Z連結なし | 低倍(広視野): 10 mm | ||
Z連結あり | 低倍(広視野): 50 mm | |||
繰り返し精度σ | Z連結なし | 0.4 μm *1 | ||
Z連結あり | 1.0 μm *1 | |||
正確さ | Z連結なし | ±2.5 μm *1 | ||
Z連結あり | ±4.0 μm *1 | |||
幅測定 | 繰り返し精度σ | 低倍(広視野): 1 μm | ||
正確さ | 低倍(広視野): ±5 μm | |||
連結機能 | 全自動測定(XY自動制御+Z自動制御、θ自動制御)、自動マップ画像作成、自動領域設定 *2 | |||
連結機能 | 電動回転ユニット | 対応 *2 | ||
XY測定可能範囲 | 300×150 mm *2 | |||
ステージ | XYストローク | 278×134 mm(電動) | ||
Zストローク | 69 mm(電動) | |||
耐荷重 | 4.5 kg | |||
作動距離 | 75 mm | |||
撮像素子 | 1型 400万画素 モノクロCMOS | |||
投光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ×2 | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
照明系 | 観察用光源 | LEDリング照明(赤、青、緑) | ||
測定用光源 | 白色LED | |||
データ処理部 | 弊社指定専用PC (OSはWindows 10 Pro) | |||
電源 | 電源電圧 | AC100~240 V ±10% 50/60 Hz | ||
消費電力 | 200 VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +15~30℃ | ||
使用周囲湿度 | 20~80%RH(ただし結露なきこと) | |||
質量 | 約28 kg *3 | |||
*1 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードで測定したときの値(周囲温度23±1℃) |
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