超深度形状測定顕微鏡 VK-8500
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推奨代替機種
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VK-X3000 シリーズ
レーザー共焦点・白色干渉・フォーカスバリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分け、さまざまな対象物を高精度に測定・解析することができます。
仕様
型式 | VK-8500 | |||
種類 | コントローラ | |||
対物レンズ倍率 | 15型モニタ上倍率 200 | 10× | ||
15型モニタ上倍率 400 | 20× | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 50× | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 100× | |||
観察測定範囲 | 横(H) | 15型モニタ上倍率 200 | カラー：1390µｍ、モノクロ：1479µｍ | |
15型モニタ上倍率 400 | カラー：695µｍ、モノクロ：739µｍ | |||
15型モニタ上倍率 1000 | カラー：278µｍ、モノクロ：295µｍ | |||
15型モニタ上倍率 2000 | カラー：139µｍ、モノクロ：147µｍ | |||
縦(V) | 15型モニタ上倍率 200 | カラー：1053µｍ、モノクロ：1109µｍ | ||
15型モニタ上倍率 400 | カラー：526µｍ、モノクロ：554µｍ | |||
15型モニタ上倍率 1000 | カラー：210µｍ、モノクロ：221µｍ | |||
15型モニタ上倍率 2000 | カラー：105µｍ、モノクロ：110µｍ | |||
作動距離 | 15型モニタ上倍率 200 | 16.5mm | ||
15型モニタ上倍率 400 | 3.1mm | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 0.54mm | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 0.3mm | |||
開口数(N.A.) | 15型モニタ上倍率 200 | 0.3 | ||
15型モニタ上倍率 400 | 0.46 | |||
15型モニタ上倍率 1000 | 0.8 | |||
15型モニタ上倍率 2000 | 0.95 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 7mm*1 | ||
表示分解能 | 0.01µｍ | |||
繰り返し精度σ | 0.03µｍ*2 | |||
表示分解能 | カラー | 962×729ピクセル | ||
モノクロ | 1024×768ピクセル | |||
フレームメモリ | 映像用(モノクロ) | 1024×768×8bit | ||
映像用(カラー) | 1024×768×8bit×3 | |||
高さ測定用 | 1024×768×20bit | |||
フレームレート | カラー | 6Hz | ||
モノクロ | 9Hz | |||
ラインおよび膜厚 | 1000Hz | |||
光学ズーム | 2×、4× | |||
デジタルズーム | 2×、3×*3 | |||
測定用レーザ光源 | 波長 | 685nm | ||
最大出力 | 0.45mW | |||
クラス | JISクラス2 | |||
観察用白色光源 | ランプ | 50Wハロゲン | ||
寿命 | 2000時間(平均) | |||
色温度 | 3000K(MAX時) | |||
カメラ | 撮像素子 | カラーCCDイメージセンサ | ||
ゲイン | 調整可 | |||
シャッタスピード | ||||
ホワイトバランス | 3200K／AUTO／MANUAL／PUSHSET | |||
Yガンマ有り | Yガンマ有り | |||
Zステージ | ストローク | 28mm | ||
試料最大高さ | 28mm*4 | |||
XYステージ | ストローク | 70×70mm | ||
試料最大奥行き | 159mm*5 | |||
耐荷重 | 5kg | |||
ステージ | 回転 | 360度 | ||
出力 | アナログRGB | 1024ピクセル×768ピクセル | ||
SCSI | SCSI-2準拠マイクロミニピンタイプ 50ピン | |||
AC出力 | 2系統 最大2A | |||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V±10% 50／60Hz | ||
消費電力 | 300VA以下 | |||
質量 | 約 9.5 kg | |||
*1 使用する対物レンズにより変わります。 | ||||
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