カラー3Dレーザ顕微鏡 VK-9700

型式

VK-9700

種類

コントローラ部

対物レンズ倍率

15型モニタ上倍率 200

10×

15型モニタ上倍率 400

20×

15型モニタ上倍率 1000

50×

15型モニタ上倍率 3000

150×

観察測定範囲

横(H)

15型モニタ上倍率 200

1350 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 400

675 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 1000

270 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 3000

90 µｍ^*1

縦(V)

15型モニタ上倍率 200

1012 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 400

506 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 1000

202 µｍ^*1

15型モニタ上倍率 3000

67 µｍ^*1

作動距離

15型モニタ上倍率 200

16.5 mm

15型モニタ上倍率 400

3.1 mm

15型モニタ上倍率 1000

0.35 mm

15型モニタ上倍率 3000

0.2 mm

開口数(N.A.)

15型モニタ上倍率 200

0.3 mm

15型モニタ上倍率 400

0.46 mm

15型モニタ上倍率 1000

0.95 mm

15型モニタ上倍率 3000

観察・測定用光学系

ピンホールによる共焦点光学系

高さ測定

測定範囲

7 mm

表示分解能

0.001µm

繰り返し精度σ

0.014µm^*2

幅測定

表示分解能

0.001µm

繰り返し精度3σ

0.02µm^*3

フレームメモリ

ピクセル数

2048×1536、1024×768

映像用(モノクロ)

14bit

映像用(カラー)

RGB 各8bit

高さ測定用

24bit

光学ズーム

1× ～ 6×

オート機能

AAG (オートゲイン)/オートフォーカス/RPD

測定用レーザ光源

波長

バイオレットレーザ 408nm

最大出力

0.9mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

受光素子

PMT (光電子増倍管)

光学観察用光源

ランプ

100Wハロゲン

光学観察用カラーカメラ

撮像素子

カラーCCDイメージセンサ

オート調整

ゲイン、シャッタースピード

データ処理部

当社指定専用PC
(OS：WindowsXP Professional Edition)^*4

電源

消費電流

最大 400 VA

ソフトウェア部

スケール表示ソフトウェア

観察画面に基準スケールを表示させるソフトウェア

グラフ表示ソフトウェア

断面形状グラフを表示するソフトウェア

通信DLL制御部

DLLコマンドを用い、外部からVK本体の操作を制御するユニット

オートフォーカスソフトウェア

観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア

ビギナーモード機能ソフトウェア

フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア

超高精細モード機能ソフトウェア

通常の４倍の高密度スキャンを行ない、高解像度データを得るソフトウェア

AAG機能ソフトウェア

自動で設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア

RPD機能ソフトウェア

速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム

リアルタイム3D機能ソフトウェア

リアルタイムで3D情報を構築し表示するソフトウェア

電源

電源電圧

AC100 ～ 240V, 50/60 Hz

質量

約 11 kg