電動X-Yステージ VK-S110

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推奨代替機種

白色干渉計搭載レーザ顕微鏡
VK-X3000 シリーズ
レーザー共焦点・白色干渉・フォーカスバリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分け、さまざまな対象物を高精度に測定・解析することができます。

※ 写真は使用イメージを表現していることがあります。商品には含まれない場合がありますのでご注意ください。

型式				VK-S110
移動方向				X・Y軸
ストローク				100×100 mm
テーブルサイズ				140×140 mm
ガイド方法				クロスローラガイド
フィード方法				精密ポールネジ、リード1 mm
軸変換慣性				X軸 9.29×10^-7kg・m²、 Y軸 9.62×10^-7kg・m²
モータ				0.35A/相、5相ステッピングモータ 5線ペンタゴン結線、保持トルク：0.017N・m、ロータ慣性：4.2g・cm²
分解度				1 µm
位置決め精度				10 µm
繰り返し位置決め精度				±1 µm
跳ね返り				1 µm
ロストモーション				3 µm
直観性 (垂直・水平)				15 µm
平行性A				X：20 µm、Y：20 µm
XY直角度				15 µm
耐加重				3 kg
主材料・概観				アルミニウム合金・ブラックアルマイト仕上げ
質量				3.7 kg