形状測定レーザマイクロスコープ VK-X110

型式

VK-X110

種類

顕微鏡部

対物レンズ倍率

15型モニタ上倍率 200

10×

15型モニタ上倍率 400

20×

15型モニタ上倍率 1000

50×

15型モニタ上倍率 2000

100×

観察測定範囲

横 (H)：µm

15型モニタ上倍率 200

1350^*1

15型モニタ上倍率 400

675^*1

15型モニタ上倍率 1000

270^*1

15型モニタ上倍率 2000

135^*1

縦 (V)：µm

15型モニタ上倍率 200

1012^*1

15型モニタ上倍率 400

506^*1

15型モニタ上倍率 1000

202^*1

15型モニタ上倍率 2000

101^*1

作動距離：mm

15型モニタ上倍率 200

16.5

15型モニタ上倍率 400

3.1

15型モニタ上倍率 1000

0.54

15型モニタ上倍率 2000

0.3

開口数 (N.A.)

15型モニタ上倍率 200

15型モニタ上倍率 400

0.46

15型モニタ上倍率 1000

0.8

15型モニタ上倍率 2000

0.95

光学ズーム

1 ～ 8倍

総合倍率

200× ～ 16000×

観察・測定用光学系

ピンホール共焦点光学系

高さ測定

測定範囲

7 mm

表示分解能

0.005 µm

繰り返し精度σ

0.02 µm^*2

幅測定

表示分解能

0.01 µm

繰り返し精度3σ

0.03 µm^*3

フレームメモリ

ピクセル数

2048×1536、1024×768、1024×64

映像用 (モノクロ)

16 bit

映像用 (カラー)

RGB 各8bit

高さ測定用

21 bit

フレームレート

面スキャン

4 ～ 120 Hz^*4

ラインスキャン

7,900 Hz^*4

オート機能

オートゲイン/オートフォーカス/オート上下限設定
/ダブルスキャンの明るさ設定

測定用レーザ光源

波長

赤色半導体レーザ 658 nm

最大出力

0.95 mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

受光素子

PMT (光電子増倍管)

光学観察用光源

ランプ

100Wハロゲン

光学観察用 カラーカメラ

撮像素子

1/3型カラーCCDイメージセンサ

撮影解像度

超高精細[3072×2304]

オート調整

ゲイン、シャッタースピード

データ処理部

弊社指定専用PC
(OSはWindows7 Professional)^*5

ソフトウェア部

オートフォーカスソフトウェア

観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア

ピクセルシフトソフトウェア

画像を撮影する際に、画素をずらして撮影し、撮影画素数を上げるソフトウェア

HDR機能ソフトウェア

16bitでデータを取得し、画像の見栄えを最適化するソフトウェア

RPD機能ソフトウェア

速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム

AAG機能ソフトウェア

自動で、設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア

自動上下限設定ソフトウェア

対象物の上限と下限を自動で認識し、測定レンジを設定するソフトウェア

簡単モード機能ソフトウェア

フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア

コメント機能ソフトウェア

観察画面にコメントを表示させるソフトウェア

計測・スケール表示ソフトウェア

寸法計測や観察画面にスケールを表示させるソフトウェア

定格

電源電圧

AC 100 ～ 240 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

最大 450 VA

質量

約 25 kg (分離時ヘッド単体：約 8.5 kg)