ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3200
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推奨代替機種
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VR-6200
仕様
型式 | VR-3200 | |||
種類 | ヘッド | |||
対応コントローラ | VR-3000 | |||
観察測定範囲 | 広視野モード | 15型モニタ上倍率 12× | 横 (H) | 24mm |
縦 (V) | 18mm | |||
15型モニタ上倍率 25× | 横 (H) | 12mm | ||
縦 (V) | 9mm | |||
15型モニタ上倍率 38× | 横 (H) | 8mm | ||
縦 (V) | 6mm | |||
15型モニタ上倍率 50× | 横 (H) | |||
縦 (V) | 4.5mm | |||
高倍率モード | 15型モニタ上倍率 40× | 横 (H) | 7.6mm | |
縦 (V) | 5.7mm | |||
15型モニタ上倍率 80× | 横 (H) | 3.8mm | ||
縦 (V) | 2.9mm | |||
15型モニタ上倍率 120× | 横 (H) | 2.5mm | ||
縦 (V) | 1.9mm | |||
15型モニタ上倍率 160× | 横 (H) | |||
縦 (V) | 1.4mm | |||
ズーム | 1 ～ 4倍 | |||
測定可能高さ | 広視野モード：10 mm (±5 mm)、高倍率モード：1mm (±0.5 mm)*1 | |||
表示分解能 | 0.1 µm*2 | |||
繰り返し精度 (σ) | 高さ測定 | 0.5µm*3 | ||
幅測定 | 広視野モード：1µm 高倍率モード：0.5µm*3 | |||
測定精度 | 高さ測定 | ±3µm*3 | ||
幅測定 | 広視野モード：5µm 高倍率モード：2µm*3 | |||
連結機能 | 全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定*4 | |||
ステージ | XYストローク | 184 x 88mm(電動) | ||
Z ストローク | 90 mm (電動) | |||
回転機構 | ±180° (試料回転ステージ) | |||
チルト機構 | ±30°以上 | |||
作動距離 | 75 mm | |||
撮像素子 | 1型400万画素モノクロCMOS | |||
投光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ x 2 | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
照明系 | 観察用光源 | LEDリング照明 (赤,緑,青) | ||
測定用光源 | 白色LED | |||
画像サイズ | 1024×768pix, 2048×1536pix | |||
データ処理部 | 弊社指定専用PC (OSはWindows7)*5 | |||
定格 | 電源電圧 | AC 100 ～ 240 V ±10 %、50/60 Hz | ||
消費電力 | 150 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +15 ～ +30 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 28.0 kg | |||
*1 焦点位置を中心に 低倍側±5 mm、高倍側±0.5 mmの範囲 | ||||
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