測定ヘッド IM-7010
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規格認証への適合状況は、当社からの出荷日時点の情報となります。
推奨代替機種
仕様
型式 | IM-7010 | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ(XGA：1024×768) | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード：200×200mm(4角R50) | ||
最小表示単位 | 0.1µm | |||
繰り返し精度 | ステージ移動なし | 広視野測定モード：±1µm | ||
ステージ移動あり | 広視野測定モード：±2µm | |||
測定精度 ±2σ | 連結なし | 広視野測定モード：±5µm*1 | ||
連結あり | 広視野測定モード：±(7+0.02L)µm*3 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力(有接点/無接点) | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMos出力 | ||
インターフェース | LAN | RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T) | ||
USB 3.1 | 4系統（背面4） | |||
USB2.0シリーズA | 2系統（正面2） | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 500GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割リング照明 | |||
XYステージ | 移動範囲 | 100×100mm(電動) | ||
耐荷重 | 5kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75mm(電動) | ||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V 50/60Hz | ||
消費電力 | 430VA以下 | |||
耐環境性 | 汚染度 | 2 | ||
過電圧カテゴリ | II | |||
使用周囲温度 | +10 ～ +35 ℃ | |||
使用周囲湿度 | 20 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 30 kg | |||
*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき | ||||
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