コントローラ IM-7500

型式

IM-7500

種類

コントローラ

撮像素子

1型　660万画素　モノクロCMOS

ディスプレイ

10．4型　LCDモニタ(XGA：1024×768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

IM-7010：広視野測定モード　200×200 mm(4角R50)、高精度測定モード　125×125 mm
IM-7020：広視野測定モード　200×200 mm(4角R50)、高精度測定モード　125×125 mm
IM-7030：広視野測定モード　300×200 mm(4角R50)、高精度測定モード　225×125 mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード：±1 µm
高精度測定モード：±0.5 µm

ステージ移動あり

広視野測定モード：±2 µm
高精度測定モード：±1.5 µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード：±5 µm^*1
高精度測定モード：±2 µm^*2

連結あり

IM-7010：広視野測定モード　±(7+0.02L) µm^*3、高精度測定モード　±(4+0.02L) µm^*4
IM-7020：広視野測定モード　±(7+0.02L) µm^*3、高精度測定モード　±(4+0.02L) µm^*4
IM-7030：広視野測定モード　±(7+0.02L) µm^*5、高精度測定モード　±(4+0.02L) µm^*6

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

IM-7010：-
IM-7020：90×90 mm
IM-7030：190×90 mm

最大測定深さ

IM-7010：-
IM-7020：30 mm
IM-7030：30 mm

ライトプローブ直径

IM-7010：-
IM-7020：ø3 mm
IM-7030：ø3 mm

測定力

IM-7010：-
IM-7020：0.015 N
IM-7030：0.015 N

繰り返し精度

IM-7010：-
IM-7020：±2 µm^*7
IM-7030：±2 µm^*7

測定精度

IM-7010：-
IM-7020：±(8+0.02L) µm^*8
IM-7030：±(8+0.02L) µm^*9

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷　DC24 V　0.5 A
ON抵抗　50 mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4系統（背面4）

USB2.0シリーズA

2系統（正面2）

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

IM-7010：4分割リング照明
IM-7020：4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)
IM-7030：4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

IM-7010：100×100 mm(電動)
IM-7020：100×100 mm(電動)
IM-7030：200×100 mm(電動)

耐荷重

IM-7010：5 kg
IM-7020：5 kg
IM-7030：7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC100～240 V　50/60 Hz

消費電力

430 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10～35℃

使用周囲湿度

20～80％RH(結露なきこと)

質量

コントローラ：約8 kg
ヘッド：約30 kg(IM-7010)、約31 kg(IM-7020)、約33 kg(IM-7030)