200 mm角ステージ 可変照明ユニット IM-8010
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仕様
型式 | IM-8010 | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 2000万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 12.1型 LCDモニター（WXGA：1280x800） | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード | 200mm×200mm（4角R50） | |
高精度測定モード | 125mm×125mm | |||
最小表示単位 | 0.1μm | |||
繰り返し精度 | 広視野測定モード | ステージ移動なし | ±1μm | |
ステージ移動あり | ±2μm | |||
高精度測定モード | ステージ移動なし | ±0.5μm | ||
ステージ移動あり | ±1.5μm | |||
測定精度 ±2σ | 広視野測定モード | 連結なし | ±3.9μm *1 | |
連結あり | ±（7+0.02L）μm *2 | |||
高精度測定モード | 連結なし | ±2μm *3 | ||
連結あり | ±（4+0.02L）μm *4 | |||
外径測定 | 測定精度 | 広視野測定モード | ±(2.8+0.02D)μm *5 | |
高精度測定モード | ±(1.4+0.04D)μm *6 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力（有接点/無接点） | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS出力 | ||
外部照明制御 | 光量制御 | PWM制御 100kHz | ||
出力電圧 | DC12V | |||
出力電流 | 1.6A（最大） | |||
インターフェース | LAN | RJ-45（10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T） | ||
USB 3.1 | 4系統（背面4） | |||
USB 2.0 シリーズA | 4系統（正面2、背面2） | |||
モニタ出力 | DVI-D | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 500GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割マルチアングル照明（電動） | |||
XYステージ | 移動範囲 | 100mm×100mm（電動） | ||
耐荷重 | 5kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75mm（電動） | ||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V ±10％ 50/60Hz | ||
消費電力 | 430VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10～35℃ *7 | ||
使用周囲湿度 | 20～80％RH（結露なきこと） | |||
過電圧カテゴリ | Ⅱ | |||
汚染度 | 2 | |||
質量 | 約30kg | |||
*1 φ80mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき | ||||