300 mm×200 mm角ステージ 可変照明・ライトプローブユニット・接触式高さ測定ユニット 搭載ワイドステージモデル IM-8030T
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仕様
型式 | IM-8030T | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 2000万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 12.1型 LCD モニタ（WXGA：1280×800） | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード | 300 mm×200 mm（4角R50） | |
高精度測定モード | 225 mm×125 mm | |||
最小表示単位 | 0.1 μm | |||
繰り返し精度 | 広視野測定モード | ステージ移動なし | ±1 μm | |
ステージ移動あり | ±2 μm | |||
高精度測定モード | ステージ移動なし | ±0.5 μm | ||
ステージ移動あり | ±1.5 μm | |||
測定精度 ±2σ | 広視野測定モード | 連結なし | ±3.9 μm *1 | |
連結あり | ±（7+0.02L） μm *2 | |||
高精度測定モード | 連結なし | ±2 μm *3 | ||
連結あり | ±（4+0.02L） μm *4 | |||
外径測定 | 測定精度 | 広視野測定モード | ±(2.8+0.02D) um *5 | |
高精度測定モード | ± (1.4+0.04D)um *6 | |||
ライトプローブ測定 | 測定可能領域（XY） | 190 mm×90 mm | ||
最大測定深さ | 30 mm | |||
ライトプローブ直径 | φ3 mm | |||
測定力 | 0.015 N | |||
繰り返し精度 | ±2 μm *7 | |||
測定精度 | ±（8+0.02L） μm *8 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 0 ～ 75mm | ||
測定力 | 0.3N | |||
測定位置精度（XY） | ± 0.2mm *9 | |||
最小表示単位 | 1μm | |||
測定可能領域（XY） | 広視野測定モード | 145mm × 95mm | ||
高精度測定モード | 107.5mm × 95mm | |||
繰り返し精度 | ± 2μm *10 | |||
測定精度 | ± 7.5μm *11 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力（有接点/無接点） | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMos出力 | ||
インターフェース | LAN | RJ-45（10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T） | ||
USB 3.1 | 4系統（背面4） | |||
USB 2.0 シリーズA | 4系統（正面2、背面2） | |||
モニタ出力 | DVI-D | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 500 GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割マルチアングル照明（電動）、スリットリング（指向性）照明（電動） | |||
XYステージ | 移動範囲 | 200 mm×100 mm（電動） | ||
耐荷重 | 7.5 kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75 mm（電動） | ||
電源 | 電源電圧 | AC100～240 V ± 10％ 50/60 Hz | ||
消費電力 | 430 VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10～35℃ | ||
使用周囲湿度 | 20～80％RH（結露なきこと） | |||
過電圧カテゴリ | Ⅱ | |||
汚染度 | 2 | |||
質量 | 約35 kg | |||
*1 φ80 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき | ||||