測定ヘッド 可変照明・高さユニットタイプ IM-6225T
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推奨代替機種
仕様
型式 | IM-6225T | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA: 1024×768) | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野: ø100×L200mm 高精度: □25×L125mm | ||
最小表示単位 | 0.1 µm | |||
繰り返し精度 | ステージ移動なし | 広視野: ±1µm 高精度: ±0.5µm | ||
ステージ移動あり | 広視野: ±2µm 高精度: ±1.5µm | |||
測定精度 ±2σ | 連結なし | 広視野: ±5µm*1、高精度: ±2µm*2 | ||
連結あり | 広視野: ± (7 +0.02L) µm*3、高精度: ± (4 +0.02L) µm*4 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 0 ～ 60mm | ||
測定力 | 0.3N | |||
測定位置精度XY | ±0.7mm | |||
最小表示単位 | 1µm | |||
測定可能領域XY | 標準プローブ | 広視野: 45×95mm、高精度: 7.5×25mm | ||
広範囲プローブ | 広視野: 95×95mm、高精度: 60×25mm | |||
繰り返し精度 | 標準プローブ | ±2µm*5 | ||
広範囲プローブ | ±5µm*5 | |||
測定精度 | 標準プローブ | ±7.5µm*6 | ||
広範囲プローブ | ±15µm*6 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力 (有接点 / 無接点) | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | リレー出力／定格負荷 DC24V 0.5A／ON抵抗 | ||
インターフェース | LAN | RJ-45 (10BASE-T / 100BASE-TX / 1000BASE-T) | ||
USB2.0シリーズA | 6系統 (前面2系統 / 背面4系統) | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 250 GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割マルチアングル照明(電動) | |||
Xステージ | 移動範囲 | 100 mm (電動) | ||
Zステージ | 30 mm (電動) | |||
耐荷重 | 2 kg | |||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V 50／60Hz | ||
消費電力 | 310VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10 ～ +35 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約34kg | |||
*1 ステージ中心からφ80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1.0℃のとき | ||||
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