ヘッド LM-1100
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仕様
型式 | LM-1100 | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 2000万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ(XGA: 1024 × 768) | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード | 225 mm × 125 mm | |
高精度測定モード | 206 mm × 106 mm | |||
最小表示単位 | 0.1 µm | |||
繰り返し精度 | 視野内(2σ) | 広視野測定モード | ±0.5 µm | |
高精度測定モード | ±0.1 µm | |||
ステージ移動あり | X・Y軸 | ±0.9 µm | ||
XY平面 | ||||
測定精度 | 視野内(2σ) | 広視野測定モード | ±2 µm*1 | |
高精度測定モード | ±0.7 µm*2 | |||
ステージ移動あり | X・Y軸（EUX,MPE、EUY,MPE） | ±(1.8 + 0.02 L) µm*3 | ||
XY平面（EUXY,MPE） | ±(2.8 + 0.02 L) µm*3 | |||
AF高さ測定 | 繰り返し精度 | ±2 µm | ||
測定精度(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L) µm*4 | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力(有接点／無接点) | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS出力 | ||
インターフェース | LAN | RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T) | ||
USB 3.1 | 2系統( 背面2) | |||
USB 2.0 Series A | 4系統( 前2、背面2) | |||
モニタ出力 | DVI-D | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 500 GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割マルチアングル照明(電動) | |||
外部照明制御 | 光量制御 | PWM制御 100 kHz | ||
出力電圧 | DC 12 V | |||
出力電流 | 1.6 A(最大) | |||
XYステージ | 移動範囲 | 200 mm × 100 mm(電動) | ||
耐荷重 | 7 kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75 mm(電動) | ||
電源 | 電源電圧 | AC100～240 V±10％(50/60 Hz) | ||
消費電力 | 430 VA以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10～35℃*5 | ||
使用周囲湿度 | 20～80%RH(結露なきこと) | |||
過電圧カテゴリ | Ⅱ | |||
汚染度 | 2 | |||
質量 | 約30 kg | |||
*1 □20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき | ||||