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レーザ変位計

1次元レーザ変位計は、レーザー光を同軸で投光と受光する「共焦点方式」と、投光した反射光を受光する光路が三角形を描く「三角測距方式」に大別できます。用途やワークの材質(透明度や光沢など)、設置距離などに応じて、最適なレーザ変位計を選択することができ、高さ・厚み・幅などが測定可能です。

レーザ変位計(1次元)

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生産終了品

  • マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000シリーズは、対象物の材質や形状を選ばず高精度測定を可能とする超小型な新方式の1次元レーザ変位計です。レーザー光源などの部品はすべて光学ユニットに搭載し、ヘッド内部の部品をレンズのみにしたことで、発熱や電気ノイズなどの影響を受けず、高精度な測定を実現。最小ø8mmの小型・軽量なヘッドは設置の自由度が高く、ロボットに装備したり、従来は困難だった装置の狭いスペースにも取り付けたりすることが可能です。また、曲面・凹み・高低差などさまざまな形状、さらには、透明・鏡面・金属粗面・セラミック・接着剤などのほか、光が多重反射したり・沈み込んだりする対象物であっても高い精度で測定します。真空環境・防爆環境・高温環境で使用できるセンサヘッドもラインナップ。高精度にインライン厚み測定が行える専用治具も準備しています。

    CL-3000 シリーズ - マルチカラーレーザ同軸変位計
  • 超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズは、392kHzの高速サンプリングと繰り返し精度0.005μmの高い精度を実現し、あらゆるシーンへの高い対応力と信頼性を持つ1次元レーザ変位計です。従来比2倍の画素幅・画素数を持つ新設計のRS-CMOSを搭載し、高速・高分解能な受光が可能。また、受光素子上にスポットを結ぶHDEレンズを新開発。さらにデルタカットテクノロジーにより、反射光の受光素子への対称性を維持し、0.02%of F.S.の直線性を実現しました。色や材質、そして透明・鏡面・粗面などの表面状態に対応するヘッドバリエーションをラインナップし、あらゆる対象物の高精度かつ安定測定を実現します。

    LK-G5000 シリーズ - 超高速・高精度レーザ変位計
  • 高速・高精度CCDレーザ変位計 LK-G3000シリーズは、受光素子に画素境界部の誤差を解消し従来比2倍の高精度を実現したLi-CCD、受光レンズユニットに歪みや収差による誤差を低減する高精度エルノスターレンズを採用しました。また、表面状態をセンシングしてレーザー光量とCCDをリアルタイム制御する高性能CPU"ABLE"をヘッド内部に搭載。新開発アルゴリズムと組み合わせることによって、透明体や半透明体、多重反射体などあらゆるワークの安定的かつ高精度な測定を実現します。最長1000mmの測定距離に対応する超ロングレンジタイプもラインナップし、あらゆるワーク、あらゆる設置条件に対応することができます。

    LK-G3000 シリーズ - 高速・高精度CCDレーザ変位計
  • マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-Fシリーズは、世界ではじめてø2mmのマイクロヘッドをラインナップし、クラス最高の分解能1nm(0.001μm)を実現した高精度なレーザ変位計です。安全なSLD(近赤外光)を採用した分光ユニットはヘッドと分離させ、内部に電気回路を持たない小型・軽量なヘッドと偏波保持ファイバで接続します。それにより、電気/磁気ノイズの影響や発熱による誤差発生をゼロにしました。また、増設コントローラを接続することで、メインコントローラ1台につき最大6ヘッドまで同時に測定することが可能です。複数のヘッドとマルチ演算機能を使用して対象物の段差や平面度(平坦度)なども高精度かつ安定して測定できます。

    SI-F シリーズ - マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
  • 分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI-T1000シリーズは、単層から多層までインラインでの安定したフィルム膜厚測定が可能です。安全なSLD(近赤外)光源を搭載した分離型の分光ユニットで、誤差の原因となる電気/磁気ノイズや発熱をゼロにしました。最小ø8mm・重量約70gの小型・軽量なヘッドは設置性に優れ、偏波保持ファイバの採用により、高速なトラバース(TD)測定でファイバが動いても測定値がバラつきません。また、サンプリングごとに受光データを指定回数分積算する光量積算機能で、粘着層のような粗い表面の膜厚も安定測定が可能です。さらに、SLDの発光パルス幅を自動制御し、反射率が安定しないフィルムも誤差なく測定できます。

    SI-T シリーズ - 分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
  • Siをはじめ、GaAs・SiC・InP・a-Si などの半導体を透過する近赤外SLD光源を採用した、分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80Rシリーズは、ウェハ厚み測定に最適な変位計です。BG(バックグラインド)テープ付きのウェハ厚みも1ヘッドで正確に測定することができます。最小25μmの小さなスポット径は、スポット内の表面段差を減らし、ウェハ表面のパターンによる測定値のバラつきや測定アラームを最小限に抑えることが可能です。分光ユニットと分離させた、最小ø12mmのヘッドは設置性に優れ、電気/磁気ノイズ、発熱はゼロ。分解能1nm・サンプリング速度5kHz・設置距離80mmの高い精度と対応力、そして安定性を実現しました。

    SI-F80R シリーズ - 分光干渉式ウェハ厚み計

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