仕様 マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-F シリーズ

型式

SI-F01^*1*2

SI-F10^*1*2

SI-F80^*1*2

画像

種類

マイクロヘッドタイプ センサヘッド

長距離タイプ センサヘッド

厚み測定タイプ センサヘッド

分光ユニット

SI-F01U

SI-F10U

SI-F80U

測定範囲

0.05 ～ 1.1mm^*3

11.3 ～ 12.35mm^*3

0.05 ～ 1.1mm^*7
(検出可能距離 80 ～ 81.1mm)

測定用光源

赤外SLD 中心波長820nm 最大0.6mW クラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø20µm^*4

ø40µm^*4

ø20µm^*4

直線性

±0.2µm^*5

±0.3µm^*5

±0.2µm^*8

分解能

0.001µm^*6

0.01µm^*6

0.001µm^*9

サンプリング周期

200µs

ガイド用光源

赤色LD 655nm 最大0.1mW クラス1 (JIS C6802)

LED表示

測定中心付近：緑点灯 測定範囲内：橙点灯 測定範囲外：橙点滅

耐環境性

保護構造

IP67

IP64

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ～ +85 ℃

0 ～ +40 ℃

0 ～ +50 ℃

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

SUS

質量

約 24 g (コード含む)

約 38 g (コード含む)

約 39 g (コード含む)

型式

SI-F1000V^*1

SI-FA100^*1

画像

種類

メインコントローラ 一体型

増設コントローラ^*4

分離型

SI-F1000/SI-FD500

SI-FA100

分光ユニット接続台数

2台

1台

表示

最小表示単位

0.001µm

なし

表示範囲

±999.999µm ～ ±9999.99mm (7段階選択可能)

表示周期

10回/秒

端子台

レーザリモートインターロック入力

無電圧入力^*2

なし^*2

タイミング1入力

リセット1入力

オートゼロ1入力

レーザオフ1/2入力

アナログ電圧出力

±10V×2出力 出力インピーダンス 100Ω^*2

±10V×1出力 出力インピーダンス 100Ω^*2

アナログ電流出力

4 ～ 20mA×2出力 最大負荷抵抗 350Ω^*2

4 ～ 20mA×1出力 最大負荷抵抗 350Ω^*2

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)^*2

なし^*2

総合判定出力

NPNオープンコレクタ出力^*2

拡張コネクタ

タイミング2入力

無電圧入力^*2

リセット2入力

オートゼロ2入力

プログラム切換入力

無電圧入力×3入力^*2

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)

判定・バイナリ出力

バイナリ出力

測定値データ出力 (21bit)
OUT選択可 NPNオープンコレクタ出力^*2

ストローブ出力

NPNオープンコレクタ出力^*2

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

無電圧入力^*2

RS-232Cインターフェース

測定データ出力および制御入出力
(ボーレート115200bit/sまで選択可)

なし

USBインターフェース

USB2.0 HI-SPEED対応
(USB1.1 Full-SPEED互換)

Ethernetインターフェース

100Base-TX/10Base-T

主な機能

12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、
測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、
光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、干渉計モード、マスク機能、
設定支援ソフト接続機能、ほか

定格

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) 10 % 以下

メインコントローラから供給

消費電流

ヘッド 1 台接続時：0.6 A 以下、ヘッド 6 台接続時：1.5 A 以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃^*3

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

質量

約 600 g

約 300 g