センサヘッド LJ-S080


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LJ-S080 - センサヘッド

仕様

型式

LJ-S080

基準距離

160 mm*1

測定範囲

Z 軸(高さ)

±23 mm(F.S.=46 mm)

X 軸(幅)

NEAR側

66 mm

基準距離

72 mm

FAR側

78 mm

Y 軸

基準距離

160 mm

XYデータ間隔

25 μm

XYデータ点数

3200×6400 点

光源

レーザ光源

青色半導体レーザ 波長405 nm(可視光)

レーザクラス

クラス2Mレーザ製品*2 ( IEC60825-1、FDA(CDRH) Part1040.10*3

出力

10 mW

繰り返し精度

Z 軸(高さ)

1 μm*4

XY(距離)

3 μm*5

直線性

標準領域

±0.055% of F.S.*6

高精度領域

±0.03% of F.S.*6

撮像時間

最速 約0.2 秒*7

I/F

イーサネット

1000BASE-T、100BASE-TX

input

LASER_ON、TRG、MEM_CLEAR*8

output

READY、 EXPOSURE_BUSY、ERROR*8

定格

電源電圧

24 V +25%、−20%

消費電流/電力

MAX 4.0 A(19.2 V 時)、3.2 A(24 V 時)*9/Typ 17 W

耐環境性

保護構造

IP65(IEC60529)*10

使用周囲照度

白熱ランプ: 10000 lx 以下*11

使用周囲温度

0~+45℃*12

使用周囲湿度

85%RH 以下(結露なきこと)

耐振動

10~500 Hz パワースペクトル密度: 0.033 G2/Hz X、Y、Z 方向 (IEC60068-2-64)

耐衝撃

15 G(IEC60068-2-27)

材質

アルミ

質量

約2600 g

*1 基準距離は、ヘッド最下端からZ 軸(高さ)の測定中心までの距離です。取付基準面は外形寸法図を参照してください。
*2 光学器具(ルーペ、拡大鏡、顕微鏡、望遠鏡、双眼鏡など)を用いて直接ビームを見ないでください。光学機器を用いてレーザ出力を観察すると、目に危険を及ぼす場合があります。
*3 FDA(CDRH)のLaser Notice No.56 に従い、IEC60825-1 の基準にてクラス分けを実施しています。
*4 測定対象物は弊社標準対象物。往復撮像OFFで高さツールにて視野中央の200 点×200 点の平均高さを測定した場合のσ値。
*5 測定対象物は弊社標準対象物。往復撮像OFFで円と円の距離ツールにて視野中央で1000 点離れた直径500 点の二円の距離を濃淡画像上で測定したときのσ値。
*6 測定対象物は弊社標準対象物。往復撮像OFFで高さツールにて200 点×200 点の平均高さを測定した場合の値。高精度領域は外形寸法図を参照してください。
*7 YZ 範囲最小、Y 間引き最大の時。
*8 コントローラ接続タイプはレーザON 入力のみ有効。
*9 極端に加速度が加わる場合は最大値を超える場合があります。
*10 OP ケーブルを接続した場合。
*11 白紙測定時、白紙に光を当てたときのセンサヘッド受光面での照度。
*12 ヘッドは、金属プレートに取り付けて使用する必要があります。