白色干渉3D変位計 - WI-5000 シリーズ

白色干渉3D変位計とは?

MAX10×10mmの測定エリアに対し、8万点の高さを瞬時に取得。
取得した高さデータに対し、段差や体積・など各種寸法測定をわずか0.13秒で検出します。

白色干渉原理では、反射光が受光できれば高さを測定することができます。そのため鏡面体・透明体でも正対していれば測定可能です。また反射率が低い黒色体が混在していてもワンショットでの測定が可能です。

同軸測定であるため、開口部に対して底部が深い溝や孔であっても測定することが可能です。一般的なレーザ変位計では、投光部と受光部が別軸になるため、測定することができません。

最大10×10 mmの画角内の高さデータを用いて、面粗さ（Sa・Sz）線粗さ（Ra・Rz）を瞬時に測定し、良否判定をインライン上でおこなうことができます。

従来の測定では困難とされていた透明ゲルや半透明樹脂の充てん高さ、ボンディングワイヤの測定を実現。ループトップ高さなどの反射が弱く、光が回り込んでしまうような対象物でも、白色干渉原理で測定がおこなえます。