センサヘッド 広視野タイプ WI-010
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仕様
型式 | WI-010*1*2*3 | |||
基準距離 | 18mm | |||
測定範囲 | Z | 1.4mm(標準モード)、0.7mm(高速モード) | ||
XY | 10×10mm | |||
最小検出エリア | 40×40µm | |||
繰り返し精度(段差) | 0.1µm*4 | |||
直線性(段差) | ±2.8µm*5 | |||
測定用光源 | 種類 | 赤外SLD | ||
中心波長 | 830nm | |||
レーザクラス(IEC60825-1) | クラス 3R | |||
出力 | 3.6mW | |||
ガイド用光源 | 種類 | 赤色半導体レーザ | ||
波長 | 660nm | |||
レーザクラス(IEC60825-1) | クラス1 | |||
出力 | 0.15mW | |||
サンプリング周期 | 内部トリガ | 133ms(高速モード)、266ms(標準モード) | ||
外部トリガ | 最速266ms(高速モード)、最速532ms(標準モード)*6 | |||
耐環境性 | 使用周囲照度 | 白熱ランプ/蛍光灯：5,000 lux 以下 | ||
使用周囲温度 | 0 ～ +35 ℃ | |||
使用周囲湿度 | 20 ～ 85 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 3,000 g | |||
*1 高さ(ヘッド基準面から測定ワークまでの距離)の分解能は1 µm(＊2)です。 | ||||