フリーアングル観察システム （Z電動ステージ） VHX-S600E
仕様
型式 | VHX-S600E | |||
XYθステージ | XYステージ 電動/手動 | 手動 | ||
XY自動ステージ モータ | - | |||
XY自動ステージ 分解能 | ||||
XY自動ステージ 移動速度 | ||||
XYステージ 移動量 | ±35mm | |||
θ回転角 | 360度 | |||
XYθステージサイズ | 上面198×150mm(中央円盤ø136) | |||
透過照明観察対応倍率 | 20倍以上 | |||
フォーカスZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 5相ステッピングモーター | |||
Z自動ステージ 分解能 | 0.1 μm(typ.) | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 17 mm/sec(max) | |||
Zステージ 移動量 | 49 mm | |||
ステージZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 手動 | ||
Z自動ステージ モータ | - | |||
Z自動ステージ 分解能 | ||||
Z自動ステージ 移動速度 | ||||
Zステージ 移動量 | 45mm | |||
サイドカメラ | なし | |||
積載荷重 | 1kg | |||
定格 | 電源電圧 | AC100～240V ±10% 50/60Hz | ||
消費電流 | 50VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5～40℃ | ||
使用周囲湿度 | 35～80％ RH （ 結露なきこと） | |||
質量 | 約17.2kg | |||
