フリーアングル観察システム EA対応 (フォーカスZ電動) VHX-S700
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仕様
型式 | VHX-S700 | |||
XY θステージ | XY ステージ 電動/ 手動 | 手動 | ||
XY ステージ 移動量 | Ｘ：± 38mm | |||
θ回転角 | 360 度 | |||
XY θステージサイズ | 上面：180mm × 136mm | |||
上Z ステージ | Z ステージ 電動/ 手動 | 電動 | ||
Z 電動ステージ モーター | 5 相ステッピングモーター | |||
Z 電動ステージ 分解能 | 0.1 μm (typ.) | |||
Z 電動ステージ 移動速度 | 17 mm/sec (max) | |||
Z ステージ 移動量 | 49 mm | |||
下Z ステージ | Z ステージ 電動/ 手動 | 手動 | ||
Z ステージ 移動量 | 47 ｍｍ | |||
定格 | 電源電圧 | DC12V 2.5A | ||
消費電流 | 30 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ 40℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ～ 80％ RH（結露なきこと） | |||
質量 | 22 kg | |||
積載荷重 | 3 kg | |||