Z軸電動ステージ VHX-S700F
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仕様
型式 | VHX-S700F | |||
Z ステージ | Z ステージ 電動/ 手動 | 電動 | ||
Z 自動ステージ モーター | 5相ステッピングモーター | |||
Z 自動ステージ 分解能 | 0.1 µm (typ.) | |||
Z 自動ステージ 移動速度 | 17 mm/sec (max) | |||
Z ステージ 移動量 | 49 mm | |||
定格 | 電源電圧 | DC 12 V 2.5 A | ||
消費電流 | 30 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ 40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ～ 80％ RH（結露なきこと） | |||
質量 | 約 3.5 kg | |||