超大型フリーアングル観察システム 300×300 mm X・Y・Z 超大型ステージ VHX-SL1B
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仕様
型式 | VHX-SL1B | |||
XYθステージ | XYステージ 電動/手動 | 電動 | ||
XY自動ステージ モータ | 2相ステッピングモータ | |||
XY自動ステージ 移動速度 | 40 mm/sec (max) | |||
XYステージ 移動量 | ±150 mm | |||
θ回転角 | - | |||
XYθステージサイズ | 376.5 mm × 378 mm | |||
透過照明観察対応倍率 | - | |||
フォーカスZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 5相ステッピングモータ | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 17 mm/sec (max) | |||
Zステージ 移動量 | 49 mm | |||
サイドカメラ | なし | |||
積載荷重 | 30 kg | |||
定格 | 電源電圧 | AC100 ～ 240 V ±10 ％ | ||
消費電流 | 80 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ 40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | ～ 80％ RH（結露なきこと） | |||
質量 | 50.7 kg | |||