電動X-Yステージ VK-S110
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推奨代替機種
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VK-X3000 シリーズ
レーザー共焦点・白色干渉・フォーカスバリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分け、さまざまな対象物を高精度に測定・解析することができます。
仕様
型式 | VK-S110 | |||
移動方向 | X・Y軸 | |||
ストローク | 100×100 mm | |||
テーブルサイズ | 140×140 mm | |||
ガイド方法 | クロスローラガイド | |||
フィード方法 | 精密ポールネジ、リード1 mm | |||
軸変換慣性 | X軸 9.29×10-7kg・m2、 Y軸 9.62×10-7kg・m2 | |||
モータ | 0.35A/相、5相ステッピングモータ | |||
分解度 | 1 µm | |||
位置決め精度 | 10 µm | |||
繰り返し位置決め精度 | ±1 µm | |||
跳ね返り | 1 µm | |||
ロストモーション | 3 µm | |||
直観性 (垂直・水平) | 15 µm | |||
平行性A | X：20 µm、Y：20 µm | |||
XY直角度 | 15 µm | |||
耐加重 | 3 kg | |||
主材料・概観 | アルミニウム合金・ブラックアルマイト仕上げ | |||
質量 | 3.7 kg | |||