ヘッド部 VK-X3050

型式

VK-X3050

種類

ヘッド部

総合倍率

42〜28800倍^*1

視野範囲

11〜7398 μm

測定原理

レーザー共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉

レーザ光源波長

半導体レーザ661 nm

最高レーザ測定スピード

面：125 Hz、線：7900 Hz^*2

レーザ最大出力

1.0 mW

レーザクラス

クラス2（JIS C6802）

レーザ受光素子

16bitセンシングフォトマルチプライヤ

白色光源

白色LED

白色光受光素子

超高精細カラーCMOS

レーザ共焦点

高さ表示分解能

1 nm

高さ繰り返し精度 σ

×10：100 nm、×20：40 nm、×50：20 nm

高さ正確さ

0.2+L/100 μm以下^*3

幅表示分解能

1 nm

幅繰り返し精度 3σ

×10：400 nm、×20：100 nm、×50：50 nm

幅正確さ

測定値の±2%以内^*3

フォーカスバリエーション

高さ表示分解能

1 nm

高さ繰り返し精度 σ

×5：500 nm、×10：100 nm、×20：50 nm、×50：30 nm

高さ正確さ

0.2+L/100 μm以下^*3

幅表示分解能

1 nm

幅繰り返し精度 3σ

×5：400 nm、×10：400 nm、×20：120 nm、×50：65 nm

幅正確さ

測定値の±2%以内^*3

白色干渉

高さ表示分解能

0.01 nm

幅表示分解能

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm^*4

Repetability of RMS

0.008 nm^*4

分光干渉膜厚測定

繰り返し精度 σ

0.1 nm^*4

正確さ

±0.6%^*4

光学観察

画素数

560万

レボルバ―

6穴電動レボルバ―

リング照明対応レンズ

×2.5、×5、×10

光学ズーム

1〜8倍

XYステージ構成

手動稼働範囲

70×70 mm

電動稼働範囲

100×100 mm

電源

電源電圧

AC100〜240 V、50/60 Hz

消費電力

150 VA

耐環境性

使用周囲温度

+15〜28 ℃

使用周囲湿度

20〜80% RH（結露なきこと）

質量

約13 kg