仕様 コリオリ式デジタル流量センサ FD-S シリーズ

型式

FD-SS02A

FD-SS2A

FD-SS20A

画像

種類

超微少流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

微少流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

中流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

定格流量範囲

0 ～ 200 mL/min^*1

0 ～ 2,000 mL/min^*1

0 ～ 20 L/min^*1

使用可能流体

水・油・非腐食性液体

密度指定範囲

0.3 ～ 2.0 g/cm³

低密度ゼロカット

初期値 0.5 g/cm³ (0 ～ 2.0 g/cm³ の間で変更可能)^*2

ゼロカット流量 初期値

10 秒ごとにメモリに書き込み

100 mL/min^*10

1 L/min^*10

ゼロカット設定範囲

0 ～ 400 mL/min

0 ～ 4,000 mL/min

0 ～ 40 L/min

接続口径

Rc1/4

Rc3/8

パイプ内径

ø1.0 mm × 2 本

ø2.1 mm × 2 本

ø5.0 mm × 2 本

使用流体温度

0 ～ 100 ℃ (凍結・沸騰なきこと)

圧力損失

水：粘度 1 cSt、FS のとき

0.03 MPa 以下

0.06 MPa 以下

0.1 MPa 以下

粘度 30 cSt、FS/2 のとき

0.3 MPa 以下

0.2 MPa 以下

表示方式

4 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段現在値：赤色、下段設定値：緑色)

動作表示灯

出力：赤 LED × 2 (制御出力 1・2)、設定インジケータ：緑 LED × 2、バンク表示灯：緑 LED、アラーム表示灯：赤 LED、
ステータス表示灯 (赤点灯：振動警告、緑点灯：満水 (正常)、緑点滅：気泡混入警告)：赤・緑 LED、フローインジケータ：赤・緑 LED × 3

表示分解能

スタンダードモード

1 mL/min(0.1 mL/min)(rESoモード時)

10 mL/min (1 mL/min) (rESo モード時)

0.1 L/min (0.01 L/min) (rESo モード時)

フォーカスモード

―

1 mL/min (0.1 mL/min)^*11(rESo モード時)

10 mL/min (1 mL/min)^*11(rESo モード時)

精度

直線性

0 ～ 25 % of F.S. 時：±1 % of F.S.
25 ～ 100 % of F.S. 時：±4 % of Rdg^*3

ゼロ点安定性

±1 % of F.S.^*3*4

繰り返し精度

50 ms ～ 100 ms：±3 % of F.S.、0.5 s ～ 1 s：±1 % of F.S.、2.5 s ～ 60 s：±0.5 % of F.S.

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 (チャタリング防止機能)

50 ms/100 ms/500 ms/1 s/2.5 s/5 s/10 s/30 s/60 s 可変

積算流量単位

スタンダードモード

0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能

1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能

0.01/0.1/1/10/100 (L) から選択可能

フォーカスモード

―

0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能^*11

1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能^*11

積算データ記憶周期

10 秒ごとにメモリに書き込み

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間：10 年以上、データ書き換え可能回数：100 万回以上)

消費電力 (消費電流)

通常時：2,200 mW (90 mA)、エコモード：1,700 mW (70 mA)

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch^*5 (40 V 以下)、
PNP オープンコレクタ最大 50 mA/ch^*5 (電源電圧 24 V 以下)、
残留電圧 NPN：1 V 以下、PNP：2 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

積算リセット/バンク切換/ゼロ調整/流量ゼロ

無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上、入力は 2 点選択式^*6

アナログ出力

4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω、アナログ出力レンジを任意に設定可能

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) ±10 % 以下

耐電圧 (電源・信号線 - 本体金属部間)

コンデンサアースのため規定されていません^*7

絶縁抵抗 (電源・信号線 - 本体金属部間)

耐環境性

保護構造

IP65

耐圧力

10 MPa 以下 (60 ℃ 以上　2 MPa 以下)^*8

使用圧力範囲

5 MPa 以下 (60 ℃以上　1 MPa 以下)^*8

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 0.15 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

接液部

通水部：SCS14・SUS316L・PPS、Oリング：フッ素ゴム (FKM)^*9

接液部以外

ケース樹脂部：PBT/PPS、ケーブル：PVC

質量

約 1,600 g

約 1,650 g

約 2,100 g

型式

FD-SF1^*1*2

FD-SF8^*1*2

画像

種類

超微少流量タイプ

微少流量タイプ

定格流量範囲

0 ～ 1,000 mL/min^*3

0 ～ 8 L/min^*3

使用可能流体

液体 (PFA を腐食しない液体)

密度指定範囲

0.300 ～ 2.000 g/cm³

低密度ゼロカット

初期値 0.50 g/cm³ (0.01 ～ 2.00 g/cm³ の間で変更可能)^*4

ゼロカット流量 初期値

50 mL/min^*5

0.4 L/min^*5

ゼロカット流量

0 ～ 2,000 mL/min^*5

0 ～ 16 L/min^*5

プロセス接続口径 (PFA チューブエンド)

4 × 3 mm

3/8" × 1/4" (9.53 × 6.35 mm)

チューブ内径

ø3.0 mm ループ

ø5.0 mm 分岐

使用流体温度

10 ～ 60 ℃ (凍結なきこと)

圧力損失

水：粘度 1 cSt、FS のとき

0.035 MPa 以下

0.04 MPa 以下

表示方式

(なし) 設定・表示パネル：FD-SA**A に接続して使用

動作表示灯

アラーム表示灯：赤・緑 LED (赤点灯：アラーム、緑点灯：電源)
ステータス表示灯：赤・緑 LED (赤点灯：振動警告、緑点灯：満水 (正常)、緑点滅：気泡混入警告、緑消灯：乾水状態)

表示分解能

スタンダードモード

1 mL/min (rESo モード時)

0.01 L/min (rESo モード時)

フォーカスモード

0.1 mL/min^*6(rESo モード時)

1 mL/min^*6(rESo モード時)

精度

直線性

50 ～ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
20 ～ 50 % of F.S. 流量 ±2 % of Rdg (指示値)
0 ～ 20 % of F.S. 流量 ±0.4 % of F.S.
再現性 (フォーカスモードにて) 0 ～ 50 mL/min：±1 mL/min^*7

25 ～ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
0 ～ 25 % of F.S. 流量 ±0.25 % of F.S.^*7

ゼロ点安定性

±1 % of F.S.^*7*8

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 (チャタリング防止機能)

50 ms/100 ms/500 ms/1 s/2.5 s/5 s/10 s/30 s/60 s 可変

積算表示単位

スタンダードモード

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能

0.001/0.01/0.1/1/10/100 (L) から選択可能

フォーカスモード

0.01/0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能^*6

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能^*6

積算データ記憶周期

10 秒ごとにメモリに書き込み

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間：10 年以上、データ書き換え可能回数：100 万回以上)

消費電力 (消費電流)

FD-SA**A より供給

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

FD-SA**A より出力
(NPN/PNP オープンコレクタ最大 100 mA/ch (NPN：40 V 以下、PNP：30 V 以下)、残留電圧 1 V 以下)

積算リセット/バンク切換

FD-SA**A より入力 (無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上 )

アナログ出力

FD-SA**A より出力 (4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能 )

電源電圧

FD-SA**A より供給

耐環境性

保護構造

IP65

耐圧力

1.5 MPa 以下 (25 ℃)^*9

0.9 MPa 以下 (25 ℃)^*9

使用圧力範囲

1 MPa 以下 (25 ℃)^*9

0.6 MPa 以下 (25 ℃)^*9

使用周囲温度

0 ～ +60 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 0.075 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

接液部

スーパーPFA

スーパー PFA /ニュー PFA

接液部以外

ケース樹脂部：PEI、ケーブル：PVC

付属品

取扱説明書

質量

約 700 g

約 750 g

型式

FD-SA1NA

FD-SA2NA

FD-SA5NA

FD-SA1PA

FD-SA2PA

FD-SA5PA

画像

種類

DIN 取付^*1・親機・NPN 出力

DIN 取付^*1・子機・NPN 出力

パネル取付・NPN 出力

DIN 取付^*1・親機・PNP 出力

DIN 取付^*1・子機・PNP 出力

パネル取付・PNP 出力

増設可能台数

親機 1 台に対し、子機は 3 台まで (合計 4 台) 増設可能

―

親機 1 台に対し、子機は 3 台まで (合計 4 台) 増設可能

―

表示方式

4 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段現在値：赤色、下段設定値：緑色)

動作表示灯

出力：赤 LED × 2 (制御出力 1・2)、設定インジケータ：緑 LED × 2、
バンク表示灯：緑 LED、アラーム表示灯：赤 LED、単位表示 LED：緑 LED

表示分解能

センサ仕様による

応答時間 (チャタリング防止機能)

(センサ仕様による応答時間) +20 ms

積算表示単位

センサ仕様による

積算データ記憶周期

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間：10 年以上、データ書き換え可能回数：100 万回以上)

消費電力 (消費電流)

FD-SF1/FD-SF8 接続時：通常時 2,640 mW (110 mA)、エコモード 1,680 mW (70 mA)
FD-SS02A/FD-SS2A/FD-SS20A 接続時：通常時 2,200 mW (90 mA)、エコモード 1,680 mW (70 mA)

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch^*2 (40 V 以下)、
PNP オープンコレクタ最大 50 mA/ch^*2 (電源電圧 24 V 以下)、
残留電圧 NPN：1 V 以下、PNP：2 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch^*2 (40 V 以下)、
残留電圧 1 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

PNP オープンコレクタ最大 100 mA/ch^*2 (30 V 以下)、
残留電圧 1 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

積算リセット/バンク切換/ゼロ調整

無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上、入力は 1 点選択式

アナログ出力

4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω、アナログ出力レンジを任意に設定可能

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) ±10 % 以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

本体ケース：ポリカーボネイト、キートップ：ポリアセタール、前面シート：ポリカーボネイト、ケーブル：PVC

質量

約 115 g

約 105 g

約 115 g

約 105 g