仕様 アンプ分離型気体用流量センサ FD-V40 シリーズ
センサヘッド
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型式 |
FD-A1 |
FD-A10 |
FD-A50 |
FD-A100 |
FD-A250 |
FD-A600 |
FD-A10AR |
FD-A50AR |
FD-A100AR |
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画像 |
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データシート（PDF） |
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種類 |
空気・窒素 (N2) 用 |
アルゴン (Ar) 用 |
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検出範囲 |
30 ～ 1,000 mL/min (std)*1 |
0.3 ～ 10 L/min (std)*1 |
1.5 ～ 50 L/min (std)*1 |
3 ～ 100 L/min (std)*1 |
7 ～ 250 L/min (std)*1 |
18 ～ 600 L/min (std)*1 |
0.3 ～ 10 L/min (std)*1 |
1.5 ～ 50 L/min (std)*1 |
3 ～ 100 L/min (std)*1 |
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ゼロカット流量 |
30 mL/min (std) |
0.3 L/min (std) |
1.5 L/min (std) |
3 L/min (std) |
7 L/min (std) |
18 L/min (std) |
0.3 L/min (std) |
1.5 L/min (std) |
3 L/min (std) |
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適応流体 |
空気・窒素 (N2) |
アルゴン (Ar) |
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使用可能流体 |
ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体 (圧縮空気の場合 ISO 等級 1.1.2 ～ 1.6.2)*2 |
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使用流体温度 |
0 ～ +50 ℃ (結露・氷結しないこと) |
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接続口径 |
Rc (PT) 1/4 |
Rc (PT) 1/2 |
Rc (PT) 1/4 |
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表示方式 |
フローインジケータ：緑 LED (×4)、出力表示：赤 LED |
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耐環境性 |
耐圧力 |
1.0 MPa |
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使用圧力範囲 |
-0.07 ～ 0.7 MPa |
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使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと) |
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使用周囲湿度 |
10 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 0.75 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3 |
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耐衝撃 |
300 m/s2、X,Y,Z 各軸 各方向 10 回 計 60 回 |
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材質 |
流路部：アルミ、SUS303、SUS304、ポリエーテルイミド、フッ素ゴム、シリコン |
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付属品 |
ヘッドコネクタ 1 個、単位切替シール 1 枚 |
ヘッドコネクタ 1 個 |
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質量 |
約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
約 190 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付) |
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価格(¥) |
43,900 |
32,900 |
38,400 |
43,900 |
54,900 |
65,900 |
32,900 |
38,400 |
43,900 |
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*1 20 ℃、1 気圧 (101.3 kPa) 時の体積流量での換算値 |
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アンプユニット
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型式 |
FD-V40A |
FD-V45A |
FD-V40AP |
FD-V45AP |
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画像 |
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データシート（PDF） |
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種類 |
DIN 取付 |
パネル取付 |
DIN 取付 |
パネル取付 |
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消費電流 |
12 V 時 |
通常 |
1500mW (125mA)以下 |
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エコモード |
1320mW (110mA)以下 |
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24 V 時 |
通常 |
2000mW (83mA)以下 |
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エコモード |
1700mW (70mA)以下 |
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検出範囲 |
FD-A1：30 ～ 1,000 mL/min (std) |
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表示方式 |
3 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段：赤、下段：緑)、表示更新周期：5 回/秒 |
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動作表示灯 |
赤色 LED × 2 (制御出力 1 ､2)、緑 LED (積算表示) |
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分解能 |
FD-A1：1 mL |
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応差 (ヒステリシス) |
可変 |
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応答時間 ( チャタリング防止機能) |
HSP (5 ms), 0.02, 0.1, 1, 5 秒から選択 |
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積算サンプリング周期 |
30 ms |
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積算データ記憶 |
1 分ごとにメモリ書き込み |
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積算表示単位 |
FD-A1：1, 10, 100, 1,000, 10,000 (mL) から選択可能 |
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積算リセット入力 |
無電圧入力 (有接点、無接点)、入力時間 20 ms 以上 (アナログ出力と切換式) |
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制御出力/積算パルス出力 |
NPN オープンコレクタ最大 100 mA 40 V 以下、残留電圧 1 V 以下、2 出力 (N.O./N.C. 切換可) |
PNP オープンコレクタ最大 100 mA 30 V 以下、残留電圧 1 V 以下、2 出力 (N.O./N.C. 切換可) |
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アナログ出力 |
4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω |
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繰り返し精度 |
FD-A1/A10/A10AR/A50/A50AR/A100A/100AR：±0.5 % of F.S. 以下 |
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定格 |
電源電圧 |
DC 12 - 24 V、リップル (P-P) 10 % 以下 |
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耐環境性 |
使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと) |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間 |
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材質 |
本体、カバー：ポリカーボネート、キートップ：シリコンゴム |
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付属品 |
固定金具、電源ケーブル、取扱説明書 |
パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル、取扱説明書 |
固定金具、電源ケーブル、取扱説明書 |
パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル、取扱説明書 |
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質量 |
約 85 g (電源ケーブル込) |
約 85 g (パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル込) |
約 85 g (電源ケーブル込) |
約 85 g (パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル込) |
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価格(¥) |
38,400 |
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インラインスピードコントローラ
エアフィルタ
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型式 |
FD-C5 |
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画像 |
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データシート（PDF） |
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使用可能流体 |
空気、窒素 (N2) |
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適応チューブサイズ |
ø8 mm (5/16") |
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チューブ公差 |
ナイロンチューブ：±0.1 mm 以内、ウレタンチューブ：±0.15 mm 以内 |
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最大処理流量 |
100 L/min (std)*1 |
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フィルタ膜面積 |
110 cm2 |
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ろ過精度 |
0.01 µm |
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最大使用圧力 |
0.8 MPa |
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耐環境性 |
使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃ |
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材質 |
ケース：ポリカーボネイト、継手部：PBT + ステンレス、中空糸膜フィルタ：ポリプロピレン、ポッティング剤：ポリウレタン、O リング：NBR |
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質量 |
約 15 g |
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価格(¥) |
11,000 |
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*1 20 ℃、1 気圧 (101.3 kPa) 時の体積流量での換算値 |
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