ココが知りたい！ 形状測定

平面度とは

平面の滑らかさ（均一性）を示す数値が「平面度」です。
部品の平面部分が、平行である二面の間に、はみ出ることなく収まっていることを要求しています。
JISでの定義は「平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ」とされています。

平面度

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レーザー顕微鏡を使った膜厚の測定について

レーザー顕微鏡では、照射されたレーザー光が測定対象で反射し、その反射光の輝度が最大になる点の情報をもとに表面形状を測定しています。そのため、膜厚測定の場合は複数の層における反射光の最大値を検出し、それぞれの層における焦点位置を検出することにより、レーザー顕微鏡での膜厚測定を可能にしています。

膜厚 測定

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粗さ計とは

部品の加工面の状態（ツルツルやザラザラ）を測定するのが「粗さ計」です。 測定結果から得られた粗さ曲線をもとに、各種指標を用いて加工面の指示や評価をおこないます。
粗さ計には、触針を使用する「接触式」と、レーザーなどを使用する「非接触式」があります。

粗さ計

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「表面粗さ」とは

「表面粗さ」とは、部品の加工面の状態（凹凸）を表すものです。 高さ、深さ、間隔が異なる山、谷が連続する周期的な形状を粗さ（表面粗さ）と呼んでいます。

粗さ計

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表面粗さの代表的なパラメータ

「算術平均粗さ」と呼ばれる高さ方向のパラメーター。
輪郭曲線が粗さ曲線の場合は、従来からの用語である「算術平均粗さ（Ra）」と呼び、輪郭曲線がうねり曲線の場合は、「算術平均うねり（Wa）」と呼びます。

粗さ計

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レーザー顕微鏡の原理について

共焦点レーザー顕微鏡は、「レーザー共焦点光学系（コンフォーカル光学系）」を用いた顕微鏡です。

共焦点レーザー顕微鏡

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他の原理の顕微鏡との違いについて

顕微鏡には、光学顕微鏡、電子顕微鏡、走査型プローブ（原子間力）顕微鏡などの種類があります。

共焦点レーザー顕微鏡

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どのような測定が可能か

共焦点レーザー顕微鏡は、波長の短いレーザーを用いた高感度な顕微鏡であり、高解像度の三次元画像を得ることができます。
そのため、観察対象の形状解析や形状測定に活用されています。ここでは、キーエンス製共焦点レーザ顕微鏡、VK-Xシリーズの機能を例にご紹介します。

共焦点レーザー顕微鏡

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