半導体・液晶業界の対策例

ウェハテスト環境を確実に除電します。ワーク付近にフィードバックセンサを設置することで対象エリアの除電環境を常に監視することができます。

広い範囲を高速に除電できます。剥離帯電を目標値以下に除電した結果を記録するので、万一の時に履歴を確認できます。

ダイを剥離するときに発生した静電気が放電する前に高速除電できます。
従来不可欠だったメンテナンス工数も削減できます。

イオンバランス±1 VであらゆるICで安心してお使いいただけます。過去の除電環境も確認でき、影響期間が特定できます。

無風タイプと省エネタイプで工場エア消費量を極限まで減らしつつ、高い除電効果が期待できます。

異物をクリーンルームへ持ち込むリスクが最も高いエアシャワールームにイオナイザを設置することで除塵効果を高めることができます。